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aixACCT雙光束激光干涉儀

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產品簡介

天津瑞利光電科技有限公司優勢經銷德國aixACCT雙光束激光干涉儀

相關產品介紹：

雙光束激光干涉儀

aixACCT Systems已將*的雙光束技術擴展到可商用的雙光束激光干涉儀系統，以進行長達8英寸的晶圓表征。

詳細介紹

天津瑞利光電科技有限公司優勢經銷德國aixACCT雙光束激光干涉儀

aixACCT雙光束激光干涉儀

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雙光束激光干涉儀

aixACCT Systems已將*的雙光束技術擴展到可商用的雙光束激光干涉儀系統，以進行長達8英寸的晶圓表征。

用于測量d 33的雙光束激光干涉儀（aixDBLI）提供經過驗證的精度（x切割石英），max可達0.2 pm / V。該系統的主要特點是單次測量的采集時間僅為幾秒鐘。基于新的數據采集算法，測量速度提高了100倍。這使得比較了以相同激發頻率記錄的薄膜的電氣和機械數據。由于差分測量原理，消除了樣品彎曲的影響，這是使用原子力顯微鏡（AFM）進行此類測量的主要障礙。

技術數據:

-解析度:1 pm經過x-cut Quartz測試

-位移/應變測量:50 Hz-5 kHz

100 mV至10 V

至25 V（可選）

-壓電d 33系數：

偏壓：（1 mHz至1 Hz）

100 mV至10 V

至25 V（可選）

小信號：（1 kHz至10 kHz）

100 mV至10 V

-電致伸縮M 33：類似于d 33

-C（V）測量:

偏壓：（1 mHz至1 Hz）

100 mV至10 V

至25 V（可選）

小信號：（1 kHz至10 kHz）

100 mV至10 V

天津瑞利光電創立以來一直秉承'以誠興業，共存共榮'的經營理念，視客戶與伙伴為摯友，視員工為公司的寶貴財富，團結一致，開拓創新，勇于打破行業發展瓶頸，逐步構建并擴大公司在自動化領域的一體化供銷網絡與服務中心。'整合行業資源，力爭行業好口碑，勇做行業發展引擎'將是瑞利人永遠的追求，我們愿與更多的用戶和國內外品牌供應商攜手并進，一起為國內工業發展貢獻力量，共同發展，共同繁榮。

關鍵詞：激光干涉儀數據采集顯微鏡