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德國(guó)aixACCT雙光束激光干涉儀TF系列

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天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢(shì)經(jīng)銷(xiāo)德國(guó)aixACCT雙光束激光干涉儀TF系列

主要型號(hào):
TF 3000、TF 2000 E、TF 1000

相關(guān)產(chǎn)品介紹:
雙光束激光干涉儀
aixACCT Systems已將*的雙光束技術(shù)擴(kuò)展到可商用的雙光束激光干涉儀系統(tǒng),以進(jìn)行長(zhǎng)達(dá)8英寸的晶圓表征。

詳細(xì)介紹

天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢(shì)經(jīng)銷(xiāo)德國(guó)aixACCT雙光束激光干涉儀TF系列

德國(guó)aixACCT雙光束激光干涉儀TF系列

主要型號(hào):
TF 3000、TF 2000 E、TF 1000

相關(guān)產(chǎn)品介紹:
雙光束激光干涉儀
aixACCT Systems已將*的雙光束技術(shù)擴(kuò)展到可商用的雙光束激光干涉儀系統(tǒng),以進(jìn)行長(zhǎng)達(dá)8英寸的晶圓表征。
用于測(cè)量d 33的雙光束激光干涉儀(aixDBLI)提供經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的精度(x切割石英),max可達(dá)0.2 pm / V。該系統(tǒng)的主要特點(diǎn)是單次測(cè)量的采集時(shí)間僅為幾秒鐘。基于新的數(shù)據(jù)采集算法,測(cè)量速度提高了100倍。這使得 比較了以相同激發(fā)頻率記錄的薄膜的電氣和機(jī)械數(shù)據(jù)。由于差分測(cè)量原理,消除了樣品彎曲的影響,這是使用原子力顯微鏡(AFM)進(jìn)行此類(lèi)測(cè)量的主要障礙。
測(cè)量:
-機(jī)電大信號(hào)應(yīng)變和極化測(cè)量。
-壓電小信號(hào)系數(shù)和介電常數(shù)與直流偏置電壓的關(guān)系。如果剛度值已知,則可以使用附加的aixPlorer軟件工具從這些值得出耦合系數(shù)。
-電氣和機(jī)電性能疲勞。
aixDBLI系統(tǒng)的*性能使其適用于6“晶片上的MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))設(shè)備的壓電和電氣可靠性測(cè)試。該系統(tǒng)的 分辨率和可重復(fù)性優(yōu)于2%,可大規(guī)模生產(chǎn)。整個(gè)裝置包括位于減振室內(nèi)的光學(xué)組件,TF Analyzer 2000和一些附加的模擬電路。
技術(shù)數(shù)據(jù):
-解析度:1 pm經(jīng)過(guò)x-cut Quartz測(cè)試
-位移/應(yīng)變測(cè)量:50 Hz-5 kHz
               100 mV至10 V 
 至25 V(可選)
 
 瑞利光電擁有一支年輕的團(tuán)隊(duì),相關(guān)人員知識(shí)經(jīng)驗(yàn)豐富,熟悉貨幣度量衡,商業(yè)習(xí)慣,貨物運(yùn)輸與保險(xiǎn)等政策,在處理貿(mào)易接洽等問(wèn)題上,能夠采用合理的處理方式,根據(jù)國(guó)內(nèi)外相關(guān)法律法規(guī)、市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)現(xiàn)狀和發(fā)展態(tài)勢(shì)來(lái)服務(wù)客戶。


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