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天津瑞利光電科技有限公司
產品介紹超緊湊的尺寸軟電暈預電離高壓固態脈沖發生器激光頭體積TMC(全金屬陶瓷)容器集成真空泵和鹵素過濾器風冷,主動熱管理RS-485,RS232,USB和光纖接口,用于系統集成可沖洗光學支架能量穩定模式ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源,專為中低占空比S應用而設計
超緊湊的尺寸
軟電暈預電離
高壓固態脈沖發生器
激光頭體積<3l
TMC(全金屬陶瓷)容器
集成真空泵和鹵素過濾器
風冷,主動熱管理
RS-485,RS232,USB和光纖接口,用于系統集成
可沖洗光學支架
能量穩定模式
ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源,專為中低占空比S應用而設計。
氣體介質 | ArF | KrF | ||
波長 nm | 193 | 248 | ||
高壓開關技術 | 固態開關 | 固態開關 | ||
重復率max. Hz | 300 | 500 | 300 | 500 |
脈沖能量max. mJ | 10 | 10 | 15 | 15 |
平均功率max. W | 2.4 | 4 | 4 | 6 |
脈沖持續時間 ns | 5-8 | |||
光束尺寸(V x H) mm | 4 x 6 | |||
光束發散角(V x H)mrad | 1 x 2 | |||
能量穩定性(標準偏差)% | < 3 | |||
尺寸(長x寬x高)mm | 630 x 400 x 300 | |||
重量 kg | 65 | |||
冷卻 | 空氣 | |||
電源要求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz |
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