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CYBER TECHNOLOGIES輪廓儀CT300

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產品型號CT300

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更新時間:2024-05-09 09:33:05瀏覽次數:150次

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產品簡介

產品介紹快速,精確,準確地測量小樣本和大樣本315毫米x315毫米大掃描區域用戶友好的概念復雜的分析和自動化軟件CT300是一種非接觸輪廓儀,具有315mm的x,y運動系統

詳細介紹

產品介紹

快速,精確,準確地測量小樣本和大樣本

315毫米x 315毫米大掃描區域

用戶友好的概念

復雜的分析和自動化軟件

CT 300是一種非接觸輪廓儀,具有315 mm的x,y運動系統。它可以處理12英寸的晶圓或其他大型基板和零件。使用彩色白光傳感器和高達20 kHz的數據采集速率,可以將檢查時間減至最少。共聚焦顯微鏡和3D白光干涉儀傳感器在低至0.1 nm的z方向上提供了的分辨率。利用多傳感器技術,可以同時安裝多個傳感器頭,包括用于測量晶圓厚度的紅外干涉儀。

典型的應用是印刷過程的分析和質量控制,例如PV太陽能電池,基板材料的進料檢查,各種基板上的厚膜測量,漿料倉庫,環氧膜,點或其他印刷和印刷的體積測量。分配的功能。 高輪廓物體的幾何形狀和位置測量(如焊料凸塊,微透鏡和MEMS器件)以及平面度和共面性分析是其他受歡迎的應用。由于CT 300在整個行程中保持高精度,因此可以快速而精確地檢查較大的零件,例如晶片,墊片或玻璃鏡片。

產品參數

系統控制器:包括運動控制,傳感器控制器(2 kHz),電源,工作站的USB接口

工作站電腦:查詢當前規格,22英寸寬屏顯示器

連接:以太網,DVD驅動器,USB(正面和背面),并行端口,鍵盤,鼠標,DVI和模擬視頻輸出

電源要求:100-240V AC,50-60 Hz,2安培(240 V),5安培(100 V)

工作溫度:20°-30°C(68–86 F)

測量表面尺寸:400 x 400 [mm](16 x 16 [in])

線性編碼器分辨率:0.05μm(2μin)

橫向分辨率:min.1微米

X和Y的行程限制(電動):315 x 315 [mm](12 x 12 [in])

Z的行程限制(手動):50 mm(2in)(可調節至100 mm)

機動化的Z軸行程:100 mm,分辨率0.1 µm

平臺上的負載:max.10 kg

可用的傳感器:

共焦白光傳感器

共焦激光傳感器

激光三角測量傳感器

干涉儀(白光和紅外)

尺寸(長X寬X高):900 x 1040 x 1600 [mm]

站立式工作站(35 x 41 x 63 [in])

重量:400 kg (880 lbs)


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