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INTELLEMETRICS晶圓視覺系統VS3

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更新時間：2024-05-03 08:16:28瀏覽次數：110次

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產品簡介

產品介紹35年來，我們一直在為光學涂層和等離子體蝕刻行業開發現場監測和控制儀器

詳細介紹

產品介紹

35年來，我們一直在為光學涂層和等離子體蝕刻行業開發現場監測和控制儀器。Intellemetrics推出了一系列晶圓視覺系統，專門設計用于在負載鎖定真空蝕刻和沉積室內觀察圖案化晶圓，以檢查是否已加載正確的晶圓，并確認相對于掩模圖案的對齊和放置。圖像分辨率取決于工作距離和視場，但通常在5mm的工作距離（適用于ICP蝕刻和沉積室）和600mm視場下可以獲得7μm的分辨率。

性能特點