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天津瑞利光電科技有限公司
產品介紹GT45A是一款基于ArF浸沒式光刻光源GT65A平臺,具備高功能擴展性的機型
GT45A是一款基于ArF浸沒式光刻光源GT65A平臺,具備高功能擴展性的機型。通過搭載新型模塊實現的“高運轉率”、繼承當前機型GT40A的“無氦氣”技術,可以在提高生產率的同時,減輕環境負荷。通過光譜寬度的穩定性改善、可變光譜技術、高可達90W的高輸出功率,滿足客戶的多樣化需求。
模塊壽命延長技術
降低維護頻率
提高生產率
減輕環境負荷
可以搭載GT65A可使用的功能和技術
產地:日本
發射波長:193 nm
平均輸出功率:45 – 90 W
脈沖能量:11.25 – 15 mJ
發射頻率:4,000 – 6,000 Hz
光譜幅度(以 95 %能量累計,E95,):≤0.5 pm
數據采集:監控的方式
輸出方式:晶圓輸出
光譜帶寬:可變化
光譜寬度:穩定
半導體工業
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