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TESCAN顯微鏡S9000G

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產品型號S9000G

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更新時間:2024-04-30 08:39:36瀏覽次數:86次

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產品簡介

產品介紹TESCANS9000G是一種鎵FIB-SEM系統,旨在進行的超薄TEM樣品制備和其他具有挑戰性的制造任務,這些任務需要分辨率以及新的離子光學和加工能力

詳細介紹

產品介紹

TESCAN S9000G是一種鎵FIB-SEM系統,旨在進行的超薄TEM樣品制備和其他具有挑戰性的制造任務,這些任務需要分辨率以及新的離子光學和加工能力。TESCAN S9000G采用Triglav SEM柱,具有高分辨率和優異的性能,改進了束內檢測系統,具有過濾電子信號收集功能,為新的對比度和增強的表面靈敏度打開了窗口。TESCAN S9000G配備Orage FIB柱,不僅在制造精度方面達到高標準,而且可以使用高離子束電流;從而使進行大體積樣品分析成為可能。此外,高達100nA的高離子束電流能夠以優異的對比度對生物樣本和材料進行特定位置的大體積FIB-SEM斷層掃描。TESCAN S9000G由新的Essence軟件接口控制,該接口具有易于學習、面向應用和可定制的布局,以及具有樣品制備自動化功能的軟件模塊。所有功能都旨在輕松實現控制和大吞吐量。

性能特點
  • 優異的樣品制備質量
  • 大限度地制備各類樣品
  • 更充分的利用離子束
  • 更加優異的成像能力
  • 快速三維分析功能
  • 增強的表面靈敏度、襯度
技術參數
  • 產地:捷克
  • 電子光學:
  • 電子光學:配備三透鏡復合TriLens物鏡的Triglav柱
  • 電子槍:高亮度肖特基發射極
  • 視野:
  • WD Analytical 5 mm時為4.3 mm WD 30 mm時為7.0 mm
  • 電子束能量:使用BDT選項,200 eV至30 keV/降至50 eV
  • 探針電流:2 pA至400 nA
  • 離子光學:
  • 離子柱:Orage Ga-FIB柱
  • 離子槍:Ga液態金屬離子源
  • 離子束能量:0.5 keV至30 keV
  • 探針電流:<1 pA至100 nA
  • 分辨率:30keV時<2.5 nm(在SEM-FIB重合點)
  • SEM-FIB角度:55°
產品應用
  • 半導體器件的物理失效分析
  • 生物標本的FIB-SEM斷層掃描
產品參數

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