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天津瑞利光電科技有限公司


STANDA定位系統(tǒng)8-0240

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產品型號8-0240

品       牌

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更新時間:2024-04-27 09:50:13瀏覽次數(shù):68次

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產品簡介

產品介紹8-0240無間隙運行確保高運動精度+0.5m或更高的所有方向的雙向重復性有效值

詳細介紹

產品介紹

8-0240無間隙運行確保高運動精度 +0.5 μm 或更高的所有方向的雙向重復性有效值;校準精度高達 +1.5 μm 或更高,整個可用行程范圍;保證了低角度偏差(低至 +20 μrad)和 +25 μrad 或更好的正交性;超過 1000 mm/s 的高速度和 15 000 mm/s 的高加速度帶來了高產量和生產率;帶有可調氣動重量補償裝置的直接驅動垂直軸,適用于不確定的刀具重量,確保了多功能性;所有 XYZ 模塊中都集成了無鐵電機,確保了高動態(tài)范圍和動態(tài)穩(wěn)定性;直接安裝在負載上的增量反饋系統(tǒng)可實現(xiàn)無間隙伺服控制和即時動態(tài)響應;提供Abs編碼器選項,防止系統(tǒng)歸位運行;新型的實際龍門控制算法可確保穩(wěn)定性和低動態(tài)誤差;靈活的模塊化設計可滿足廣泛的應用要求、適合半導體制造或計量、鉆孔、激光燒蝕等應用;機構復雜度低,可在不同行程范圍內快速擴展類似系統(tǒng)。

性能特點

定位范圍 XY - 1000 x 1300 mm,Y - 90 mm

+0. 5 μm 或更好的雙向重復性 RMS

+1.5 μum 或更好的校準Abs精度

速度 1000 m/s,加速度 15 000 mm/s2

靈活的模塊化設計可根據(jù)任何要求進行定制

可定制系統(tǒng)尺寸和行程范圍

技術參數(shù)

產地:立陶宛

編碼器類型:光柵

編碼器型號:LEN1

編碼器分辨率(nm):低至 0.3

編碼器接口:1 Vpp 或 Dierential RS422

內部乘法器:是

乘法器:x 65536

編碼器光柵周期(μm):20

參考標記(指數(shù)):是

Abs精度(校正后):±1.5;±1.5;±0.5 μm

雙軸重復性 (RMS):±0.5;±0.5;±0.1 μm

俯仰角:±15/±3.1;±42/±8.66;±551 ±11.34

偏航,拉德/角秒:±7.5/±1.55;±42/±8.66;±55/±11.34

滾動,垂距/角秒:±7.5/±1.55;±42/±8.66;±551 ±11.34

Max Vloit(無負荷,4 個電機),mm/s:1000

Max Acleaton (空載,4 個電機),mm/s2:10000

限位開關類型:霍爾傳感器

限位開關電壓:5至24 V

線性平臺總尺寸(寬 x 長 x 高):2300 x 1690 x 912 mm

移動平臺尺寸(寬 x 長):295 x 130 mm

測量系統(tǒng):公制/英制

光度,μurad/arcsec:48.48/10

產品尺寸

產品應用

航空、海洋、地質勘探、測繪等

半導體制造或計量、鉆孔、激光燒蝕等應用

產品參數(shù)

關鍵詞:傳感器

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