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CZA-4N/FX系列惰性氣體純化器

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更新時間:2022-10-06 12:09:33瀏覽次數(shù):299次

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產(chǎn)品簡介

惰性氣體純化器的原理是利用合金吸附劑在高溫中能與氧氣、氮氣、水、二氧化碳和烴類等雜質反應生成穩(wěn)定化合物或固溶體的性質來把氬氣、氦氣、氖氣、氙氣等惰性氣體中的上述雜質除去,從而達到純化之目的,凈化后得到的高純氣體已廣泛用于半導體、電子、冶金、鋰電池制造、光纖等產(chǎn)業(yè)部門的分析和科學研究中。

詳細介紹

產(chǎn)品特點
1)凈化程度深,不僅能除去O2等較活潑的雜質,而且還可以除去N2等惰性雜質,這是一般凈化機辦不到的;
2)本純化器為雙塔結構,一組工作,另一組備用,頂兩臺凈化機使用;
3)工作溫度較低,能耗少。
4)本系列純化器配置有預凈化塔,在合金吸附塔之前已經(jīng)除去了較活潑的雜質,故極大地延長了合金吸附塔的使用壽命
技術參數(shù)
設備名稱 設備型號 工作方式 備 注
惰性氣體純化器 CZA-4N 半自動 Ar
FX□-Z 半自動 □選Ar、He、Xe、Ke或Ne
原氣要求 Ar、He 純 度 ≥99.99%一般瓶裝純氬,液氬
雜質要求 O2≤200PPm, H2O≤1000PPm,N2≤100PPm
輸出純氣 純 度 ≥99.9999%
雜質含量 O2≤0.5PPm;N2≤0.5PPm;H2O≤1PPm(即露點≤-76℃); CO+CO2≤0.1PPm;塵埃粒子數(shù)(≥0.3μm)3-5個/升
工作壓力 0~1.0MPa
處理氣量 1~4Nm3/h
備 注 可根據(jù)用戶要求設計制造

關鍵詞:氣體純化器
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