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深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司
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深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司AE 霍廷格 賽恩電源鍍膜射頻匹配器維修 萊寶COOLVAC低溫泵的工作范圍10-3到≤10-11mbar(0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托)屬于氣體捕集泵。工作原理是將氣態(tài)物質(zhì)通過(guò)低溫冷凝和低溫捕集到泵內(nèi)冷表面。為了能夠獲得高真空或超高真空,冷表面(低溫板)必須冷卻到足夠低的溫度。根據(jù)所用冷卻系統(tǒng)的類(lèi)型可以分為制冷機(jī)低溫泵、 貯槽式低溫泵和蒸發(fā)器低溫泵。 萊寶公司生產(chǎn)用制冷機(jī)冷卻低溫泵。 客戶(hù)得益 低溫泵的優(yōu)勢(shì): - 所有氣體都有高抽速 - 對(duì)水汽有的抽速 對(duì)于相同直徑的高真空法蘭,低溫泵可以達(dá)到所有高真空泵MAX的抽速。 低溫泵的優(yōu)勢(shì)2: 與氣體傳輸泵(例如渦輪分子泵)相比,低溫泵在真空側(cè)沒(méi)有任何機(jī)械活動(dòng) 部件、潤(rùn)滑油或脂潤(rùn)滑部件。所以:- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至 ≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強(qiáng)范圍的無(wú)烴真空 - 對(duì)外部振動(dòng)不敏感 其它優(yōu)點(diǎn): - 與其他高真空泵相比更加緊湊(抽速大于1500 l x s-1) - 僅啟動(dòng)和再生期間需要前級(jí)泵 - 利用計(jì)算機(jī)更容易對(duì)工藝和泵進(jìn)行控制 - 性?xún)r(jià)比更高,使用成本更低,尤其是需要大抽速的應(yīng)用 萊寶真空生產(chǎn)的低溫泵采用本廠(chǎng)生產(chǎn)的COOLPOWER雙級(jí)冷頭冷卻(Gifford/McMahon原理)。 有關(guān)COOLVAC系列低溫泵的設(shè)計(jì),請(qǐng)見(jiàn)以下示意圖的內(nèi)容。 一級(jí)冷頭(9)冷卻熱輻射防護(hù)屏和低溫泵的障板(6)。 根據(jù)泵的型號(hào)和工作條件不同,達(dá)到45到80K的工作溫度,水蒸汽在這里冷凝。 熱輻射防護(hù)屏和障板為銅質(zhì),它們能很好地傳遞熱量,從而優(yōu)化制冷容量。 另外,熱輻射防護(hù)屏經(jīng)過(guò)拋光,將反射損失降到盡可能小。二級(jí)冷頭(7)用于冷卻冷傘(8)。 根據(jù)工作條件,達(dá)到 10到 20 K的工作溫度。氮?dú)狻⒀鯕夂蜌鍤庠谶@里低溫冷凝。冷傘采用高導(dǎo)熱銅材與二級(jí)冷頭緊密相連。氫氣、氖氣和氦氣被吸附到冷傘上面部分覆蓋活性炭上。 COOLVAC制冷機(jī)低溫泵 COOVAC系列的所有低溫泵都配有安全閥(UHV型帶有爆破膜),安全閥由工廠(chǎng)設(shè)置,過(guò)壓150mbar(113托)時(shí)打開(kāi)。 為了保證在安全閥動(dòng)作時(shí),安全地排出可能影響健康的氣體,安全閥另配有一個(gè) DN 40 KF 法蘭,上面可以連接一條排氣管線(xiàn)。 低溫泵的再生 低溫泵工作的一個(gè)重要方面是再生。由于低溫泵屬于氣體捕集泵,所以被抽氣體都蓄積在泵內(nèi),飽和后必須泵排出。 具體操作方法是關(guān)閉壓縮機(jī)并加熱低溫區(qū)到室溫或略高的溫度,由前級(jí)真空泵將釋放的氣體排出。 非電控再生系統(tǒng)的低溫泵這種低溫泵通過(guò)向泵內(nèi)吹掃干燥、預(yù)熱的惰性氣體(例如氮?dú)猓┘訜岬蜏貐^(qū)到室溫。此情況下,由于低溫泵內(nèi)不可能有確定的和受控制的溫度,所以無(wú)法排除氫氣和氧氣同時(shí)存在的情況。只有通過(guò)干燥惰性氣體的稀釋作用來(lái)防止可燃混合氣的形成。 多臺(tái)低溫泵組合操作 由于萊寶真空的壓縮機(jī)COOLPAK 6000HD功能強(qiáng)大,可以同時(shí)驅(qū)動(dòng)兩個(gè)以上冷頭或低溫泵。 客戶(hù)得益 - 極大的降低投資和操作成本 - 占地面積小 萊寶真空全自動(dòng)加熱再生低溫泵 低溫泵通過(guò)電加熱器將一級(jí)和二級(jí)冷頭加溫到室溫。此類(lèi)情況下,低溫泵內(nèi)可以達(dá)到確定和受控制的溫度分布。這個(gè)受控制的加溫過(guò)程保證了氣體被連續(xù)排出,也就是按以下順序氣體一個(gè)接一個(gè) 被釋放: - 吸附在冷傘上的氣體(例如氫氣、 氦氣、氖氣) - 冷凝在冷傘上的氣體(例如氮?dú)狻?emsp; 氧氣、氬氣) - 冷凝在障板和熱輻射防護(hù)屏上的氣 體和蒸汽(例如水蒸汽) 萊寶真空采用的這種電加熱再生方法能夠防止氫氣和氧氣之類(lèi)的氣體在泵內(nèi)同時(shí)存在,從根本上排除了可燃混合氣形成的可能。 加溫過(guò)程為全自動(dòng),泵內(nèi)的壓強(qiáng)和溫度分布,始終由控制系統(tǒng)確定和控制,從而保證萊寶真空低溫泵再生期間較大限度的安全。 萊寶真空的低溫泵分自然再生(BL)和全自動(dòng)加熱再生(iCL)兩個(gè)系列: 1. COOLVAC ClassicLine(COOLVACiCL),單品以對(duì)氮?dú)獬樗倜▎挝籰/s),如COOLVAC 1500 iCL對(duì)氮?dú)獾某樗贋?500l/s。可提供從1500到60000l/s的全系列產(chǎn) 品。 在報(bào)價(jià)清單上,泵名稱(chēng)帶有符號(hào)“V"的:“V"表示高真空接口位于上端,冷頭在下面,例如COOLVAC 1500 iCL-V、DN 200 CF。 2. COOLVAC BaseLine的命名規(guī)則相同,可提供從1500到60000l/s的全系列產(chǎn)品。 3. 特殊低溫泵 萊寶真空可以根據(jù)客戶(hù)要求提供特制低溫泵,如為航天環(huán)境模擬應(yīng)用提供大口徑液氮輔助制冷低溫泵CV30000BLN2和CV60000BLN2,詳細(xì)信息請(qǐng)和我們聯(lián)系。 典型應(yīng)用 - 蒸發(fā)器 - 濺射系統(tǒng) - 離子注入機(jī) - 光學(xué)鍍膜機(jī)
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