MODEL 3100系列是基于MODEL 3200系列開發的用于高精度流量測量的新型質量流量計。
這種高級型號采用新型低壓力毛細管流量傳感器，可確保高速響應和長期穩定性。
- 配備溫度跟蹤式電流差檢測型流量傳感器，實現高精度，高速響應
- F.S.1 SCCM微流量支持（SR選項）
尺寸圖
標準規格
| 流量范圍 （N2轉換20°C / 1 ATM） | 1SCCM~20SLM（可選） |
|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 |
| 響應速度 | 1秒內 |
| 準確性 | ±1％FS（15~35°C） |
| 再現性 | 在±0.2％FS（20°C）內 |
| 耐壓 | 980kPa（G） |
| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 |
| 允許周圍溫度 | 0~50℃ |
| 允許環境濕度 | 10~90%RH（無結露） |
| 氣體接觸材料 | 車身SUS316L |
| 密封材料FKM（選件CR或NBR或Kallets） | |
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC標準（符合SEMI標準） |
| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（外部負載電阻250kΩ以上） |
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）100 mA -15 VDC（±5％）100 mA |
| 接頭 （體型） | 標準1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 選項1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等 |
| 重量 | 約800g |
（* 1）不含滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10-6Pa?m3 / sec以下。
警告
流量范圍附帶的規格（流量范圍，精度，響應性等）是N2或空氣轉換中的規格。
另外，生產規格條件是初級側小于300kPa，次級側向大氣開放。
有關壓力條件，請另行咨詢。
