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日本KOSAKA臺階儀

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更新時間:2022-12-02 14:38:13瀏覽次數:302次

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產品簡介

一、儀器的功能及用途能夠在大氣環境下準確地測量樣品表面臺階變化;使用金剛石(鉆石)探針接觸直動式測量的方式來實現高精度表面形貌分析應用

詳細介紹

一、儀器的功能及用途

能夠在大氣環境下準確地測量樣品表面臺階變化;使用金剛石(鉆石)探針接觸直動式測量的方式來實現高精度表面形貌分析應用。能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。

: 儀器的配置及主要技術指標

1. 標準配置

1)接觸直動式臺階儀主體

2)放大器

3)電腦以及相應中文版測量軟件

4)打印設備

5)金剛石觸針

6)CCD以及觀測裝置

2.主要性能指標

一、測定工件

v 1.工件尺寸:φ160mm

2.工件厚度:50mm

3.工件重量:2Kg

二、檢出器

1.Z方向測定范圍:Max.600μm

2.Z方向分辨率:0.1nm

3.測定力:1mg ~ 50mg

4.探針半徑:2μm

v 5.檢測驅動方式:直動式

v 6.再現性:0.2nm(1μm臺階儀下)

三、X

v 1.移動量(測長):100mm

v 2.移動真值度:0.2μm/100mm

3.移動、測定速度:0.005 ~ 20mm/s

v 4.線性尺(linarscale):分解能0.1μm

四、Z

1.移動量:50mm

2.移動速度:max.2mm/S

3.檢出器自動停止機能

4.位置決定分解能:0.1μm

v 5.線性度:±0.25%

五、工件臺

1.工件臺尺寸:φ160mm

2.機械手動傾斜:± 2℃(±5mm/160mm )

六、工件觀察:max.110倍(可選其他高倍率CCD)

v 七、床臺:花崗巖石材質(120KG機臺,低重心)

八、電源:AC100V±10%,50/60HZ, 300VA

九、機臺外觀尺寸及重量:W494×D440×H630mm,120kg


關鍵詞:臺階儀
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