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HASUC上海和呈儀器制造有限公司
普遍應用于航空、航天、石油、化工、軍事、船舶、電子、通訊等科研及生產單位,主要做BPO膠/PI膠/BCB膠固化,IC(晶圓…
主要特點:箱體選用全陶瓷纖維保溫,具有升溫快、節能等特點,送風、排風系統,確保爐箱溫度均勻,吸風口玻纖過濾器,確保潔凈度的要求。
一、技術指標與基本配置:
1、使用溫度:RT~400℃,可做溫度:450℃;
2、腔體數量:2個,上下布置;獨立控溫
3、爐膛材料:SUS304鏡面不銹鋼;加熱元件:不銹鋼加熱器;熱偶
4、空爐升溫時間:1.5h;
5、空爐降溫時間:375℃--80℃;降溫時間1.5-3.5小時 (采用水冷及風冷);
6、智能控制系統:日本歐姆龍PCL+PC工控電腦
二、氧含量(配氧分析儀):
1、高溫狀態氧含量:≤ 10ppm +氣源氧含量;
2、低溫狀態氧含量:≤ 20ppm +氣源氧含量
3、控溫穩定度:±1℃;
4、溫度均勻度:±10℃(400℃平臺);
三、事件輸出:
1、配置PLC,可實現多事件輸出控制氣氛、水等開關和報警;
2、溫度和氧含量記錄:烘箱工藝溫度,6點溫度監控數據及無氧數據,烘箱控制系統中顯示,保存,記錄,并生成報表。可查可視。
3、超溫、斷偶等聲光報警保護,產品烘烤批次,數據,報警,事件等等追蹤可查詢。
4、PC 內部記錄數據,使用 Excel 等常用軟件可以讀取,數據記錄間隔5S;
5、基于TCP/ip協議,與工廠系統對接,實現自動化烘烤,過程管理
四、工藝線標準
1、在常溫下以3-5℃/min升溫速率升溫40分鐘到200℃
2、200℃狀態下恒溫45分鐘
3、再40min升到375℃
4、375℃恒溫1H
5、以每分鐘3-5℃的降溫速率,79min左右從375℃降到75℃
產品參考圖:
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