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膜厚測量儀

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產品簡介

本膜厚測量儀適用于nm及um級薄膜厚度測量，測量的空間分辨率（測量點的大小）可達10um，厚度測量準確度為nm級。

詳細介紹

本膜厚測量儀適用于nm及um級薄膜厚度測量，測量的空間分辨率（測量點的大小）可達10um，厚度測量準確度為nm級。

此款膜厚測量儀適用于：

顯示器、觸摸屏、太陽能電池、R2R 光學鍍膜等產業的薄膜厚度測量

光學材料參數測量、彩色濾光片色度及穿透率測量。(如：Oxide, Nitride,

ITO, RGB CF, PR, PI…@ Si, Glass, PET…等樣品)

技術參數：

1.厚度測量范圍：10 nm ~ 30 μm (采用Ocean Optics 光譜儀)

(Optional: up to 250 μm)

2.厚度測量重復性：< 1 nm @ 500 nm Oxide on Si

3.測量點大小 : Macro(~3 mm)

(Optional 選項加顯微鏡 : 10 μm – 3 mm)

4.測量時間：< 1 sec

5.其它功能：折射率(n)及消光系數(k)測量

反射率(R)及穿透率(T)測量

色度參數(x, y, Y, L*, a*, b*)測量

(Optional:在線檢測、實時8-16 通道測量)

6. 機臺尺寸：長寬高約31*27*30 (cm)。

關鍵詞：顯示器電池光譜儀顯微鏡

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