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天津福川制冷設備技術有限公司
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低溫真空泵低溫真空泵是利用10K（-263℃）低溫制冷機作為冷源，通過低溫冷凝、低溫吸附的原理獲得無油高真空的設備，低溫真空泵廣泛應用于：1）半導體、集成電路、光電器件的鍍膜工藝過程；2）光學鏡片鍍膜；3）磁控濺射鍍膜生產線；4）空間環境模擬；5）真空排氣臺等
低溫真空泵
低溫真空泵是利用10K（-263℃）低溫制冷機作為冷源，通過低溫冷凝、低溫吸附的原理獲得無油高真空的設備，
低溫真空泵廣泛應用于：
1）半導體、集成電路、光電器件的鍍膜工藝過程；
2）光學鏡片鍍膜；
3）磁控濺射鍍膜生產線；
4）空間環境模擬；
5）真空排氣臺等。
低溫真空泵主要特點：
1）低溫真空泵是吸附式真空泵，工作時無需前級泵；
2）低溫真空泵需要再生；
3）低溫真空泵對不同氣體具有不同的抽速和抽氣容量。
低溫真空泵的主要優點：
1）高極限真空度。基本型可達10-6Pa真空度，特殊要求時可達10-7Pa以上；
2）大抽速。對空氣尤其是對水蒸汽具有超高的抽速，其它真空泵不可比擬；
3）真正潔凈。
4）運行成本低
5）安全可靠
6）使用方便
7）使用壽命長
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