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深圳市安川測量儀器有限公司
產品簡介: 檢測對象H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3檢測濃度1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm檢測原理熱線型半導體式采樣方式自動吸引式應用行業半導體制造
日本進口新宇宙XP-703DIII 半導體材料氣體檢測
測對象氣體
半導體材料氣體(胂、膦、、硅烷、氫氣等)
檢測原理
熱線型半導體式
采樣方式
自動吸引式
檢測氣體名稱
砷烷 磷烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
可檢測小濃度
(單位:ppm)
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
檢測表示
蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍
應答速度
10秒以內
尺寸
W38×H130×D30mm
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