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simco進口日本電離器型號4214在線離子發生器

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更新時間：2023-09-19 13:50:02瀏覽次數：144次

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深圳市安川測量儀器有限公司

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產品簡介

產品簡介：支持超低顆粒采用單晶硅電極。的清潔機制，不會向外部釋放顆粒，確保長時間穩定的清潔度采用智能控制電路，無需任何調節內置傳感器持續監控離子產生，實現可靠的靜電控制器、電源內置集成自動高壓關斷功能在低流量時保護產品適用于*的半導體制造工藝和其他超低顆粒應用24V DC 驅動

詳細介紹

simco進口日本電離器型號4214在線離子發生器

輸入電壓	24V DC+/-5% 6W（典型值）
離子平衡	<+/-25V 150mm 距離 40LPM 無管道連接
靜電消除時間	<10秒 150毫米距離 40LPM 無管道 +/-1kv → +/- 100v 通過帶電板監視器
離子發生方式	電暈放電方式高頻交流方式
清潔度	ISO Class1，0.1 微米 “擴展 ISO Class1，10nm"*
電極	單晶硅可更換
相應的吹掃氣體	氮氣 > 99.998%
流量	40LPM (36.5Kpa) 至 90LPM (171kpa)
吹掃壓力	207Kpa（=100LPM流量）
氣體溫度	60攝氏度
N2 吹掃連接	世偉洛克 3/8" 外徑管道
電離 N2 連接	世偉洛克 1/2" OD 管道連接，帶 1/4NPT 內螺紋連接器或可選接頭28-25710-SC
工作溫度限制	15至60攝氏度
信號輸出	開/關觸點報警和低離子輸出
尺寸	長 152.4mm x 寬 72.4mm x 深 32mm 不包括管道
重量	640克
外部的	不銹鋼
安裝方法	背面M5螺絲螺絲長度必須小于10mm