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simco日本思美高進口5225 型AeroBar棒式離子發生器

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產品簡介

產品簡介： ■單晶硅電極在范圍內擁有的采用記錄，由于其超低顆粒特性和電極材料，避免了金屬污染的風險。通過安裝 5200-SR 外部電極靜電消除目標附近的傳感器（選件），可以對靜電消除目標附近的離子平衡進行反饋控制，而不是離子發生器本身（連接5200-SR）如果沒有，離子發生器內置的傳感器會自動調整離子平衡.)■根據半導體前端工藝的EFEM設定棒......

詳細介紹

simco日本思美高進口5225 型AeroBar棒式離子發生器

日本思美高靜電測試儀5225S AeroBar 型用于超潔凈獨立安裝

■單晶硅電極在范圍內擁有的
采用記錄，由于其超低顆粒特性和電極材料，避免了金屬污染的風險
。
通過安裝 5200-SR 外部電極靜電消除目標附近的傳感器（選件），可以對靜電消除目標附近的離子平衡進行反饋控制，而不是離子發生器本身（連接5200-SR）如果沒有，離子發生器內置的傳感器會自動調整離子平衡.)
■根據半導體前端工藝的EFEM設定棒的長度
■離子發生輸出、離子發生時間、警報閾值等參數范圍廣通過使用進行設定，可以靈活應對適用于遠距離應用和弱氣流環境
■只需通過數字輸入參數即可獲得高再現性，并且可在短時間內完成設置
■除了簡單的報警 IO 外，還可以使用提供的 DLL 進行實時監控免費，有助于掌握工藝設備內部狀態。

輸入電壓	24V AC，50/60Hz，1W（典型值）由 IM6T 提供。
溝通形式	RS485（IM6T 和 5225 之間）
輸出電壓	0kv 至約+/-20kv
輸出形式	脈沖直流模式、穩態直流模式（可選）
輸出電流	內置<15microA電流和電壓限制電路
連接接頭	RJ11，4極4芯
離子發生時間	小0.1秒，10秒可分別設置正負
電極	單晶硅電極可更換
臭氧產生量	<0.005ppm（24小時積分測量）
相應潔凈度	ISO 1 級，0.1 微米
尺寸	高 53 毫米 x 深 31 毫米 x 長 569 毫米 (-22)、721 毫米(-28)、 907毫米(-36)、1128毫米(-44)、1412毫米(-56)、1636毫米(-64)、 1918 毫米 (-76) 和 2144 毫米 (-84)
重量	-22：每增加長度1.02kg 0.17kg/30cm
外部的	ABS樹脂

接口模塊型號 5200-IM6T

輸入電壓	24V 直流+/-5%，1.5A
溝通形式	以太網、RS232C
報警輸出	繼電器觸點（ V4.0 及更高版本）
尺寸	高 74 毫米 x 深 71 毫米 x 長 315 毫米
重量	2公斤