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艾德生儀器有限公司
EVCClass100潔凈烘箱無塵烘箱的詳細資料:無塵高溫試驗箱,潔凈烘箱,無塵烤箱,百級無塵烘箱,無塵干燥箱,百級無塵烤箱,100級潔凈烤箱Class100CleanOvens一、設備用途:Class100潔凈烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤
無塵高溫試驗箱,潔凈烘箱,無塵烤箱,百級無塵烘箱,無塵干燥箱,百級無塵烤箱,100級潔凈烤箱
Class 100 Clean Ovens
潔凈度100級的潔凈熱處理
HEPA高效過濾器與前出風型水平層流循環方式實現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。zui小限度控制風速距離。
M計裝可編程控制
1模式20步驟,最多可做10個模式。溫度上升·下降斜率設定程序的重復次數在1-999次間設定。
簡單操作的標準計裝
標準配置定值運行模式以及自動啟動·自動停止等可設定動作的程序運行。標準配置溫度過升防止器。
設備型號 | 溫度范圍 | 內容積 | 其它參數 | 內尺寸 (W×D×Hmm) | 外尺寸 (W×D×Hmm) |
EVC150 | (RT+60)~+200℃ | 150L | 潔凈度:100級 | 500×500×600 | 770×1100×1,350 |
EVC360 | (RT+60)~+200℃ | 360L | 潔凈度:100級 | 600×600×1000 | 770×1025×1850 |
EVC640 | (RT+60)~+200℃ | 640L | 潔凈度:100級 | 800×800×1000 | 1,030×1100×1850 |
EVCH150 | (RT+60)~+350℃ | 150L | 潔凈度:100級 | 500×500×600 | 770×1100×1,350 |
EVCH360 | (RT+60)~+350℃ | 360L | 潔凈度:100級 | 600×600×1000 | 770×1025×1850 |
EVCH640 | (RT+60)~+350℃ | 640L | 潔凈度:100級 | 800×800×1000 | 1,030×1100×1850 |
注:無塵等級和尺寸可根據要求定制。
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