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三路質子氣體流量控制器

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更新時間：2022-09-26 13:30:24瀏覽次數：274次

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河南創合實驗室設備有限公司

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產品簡介

產品描述　　三路質子流量控制器主要用于實驗室氣體流量測試,并按比例混合氣體,為實驗室管式爐或手套箱等其他特定容器營造特定要求的氣氛環境

詳細介紹

三路質子流量控制器主要用于實驗室氣體流量測試,并按比例混合氣體,為實驗室管式爐或手套箱等其他特定容器營造特定要求的氣氛環境.
該氣體流量控制器可以外接3種氣體,采用質子型流量計,氣路管道采用304拋光管制作耐腐蝕性強.三路質子氣體配比器氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏.

應用范圍：
1.半導體制造行業中氣體流量控制
2.各種真空鍍膜設備
3.材料表面處理
4.氣體燃燒控制
5.混和配氣系統
6.環境檢測與分析設備
7.分析儀器的氣體流量計量與控制 8.化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要氣體檢測和控制的場所

技術參數

產品名稱	三路質子氣體流量控制器
流量計類型	質子流量計
流量計管芯	304不銹鋼
調節閥類型	電磁調節閥
管道常態	常閉
流量計外殼	黑色鋁殼
氣體種類	3種
接口尺寸	1/4"
測量精度	±1.0%F.S
線性度	±0.5%F.S
重復精度	±0.2%F.S
壓力范圍	-0.1-0.15 MPa
A路氣體測量范圍	0～100SCCM
B路氣體測量范圍	0～200SCCM
C路氣體測量范圍	0～500SCCM
流量控制范圍	2%～99%
零點溫漂	0.6F.S(15～35℃)
響應時間	2S
工作環境溫度	(15～50℃)
精度保證溫度	(15～35℃)
供電電源	220V 50Hz
設備重量	43kg