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場發射掃描電鏡 SEM5000

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更新時間:2024-07-23 08:02:11瀏覽次數:95次

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產品簡介

場發射掃描電鏡SEM5000SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發射掃描電子顯微鏡

詳細介紹

SEM5000

場發射掃描電鏡
SEM5000


SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發射掃描電子顯微鏡。
的鏡筒設計,高壓隧道技術(SuperTunnel)、低像差無漏磁物鏡設計,實現了低電壓高分辨率成像,同時磁性樣品可適用。光學導航、完善的自動功能、精心設計的人機交互,優化的操作和使用流程,無論經驗是否豐富,都可以快速上手,完成高分辨率拍攝任務。

電子槍類型

高亮度肖特基
場發射電子槍

分辨率

1.0 nm @ 15 kV
1.5 nm @ 1 kV

放大倍率

1 ~ 2,500,000 x

加速電壓

20 V ~ 30 kV

樣品臺

五軸全自動樣品臺

產品特點

01

分辨率高,低加速電壓下實現高分辨成像

02

電磁復合物鏡,減小像差,顯著提高低電壓下的分辨率,而且可觀察磁性樣品

03

高壓隧道技術(SuperTunnel) ,在隧道中的電子能保持高能量,減少了空間電荷效應,低電壓分辨率得到保證

04

電子光路無交叉,有效的降低系統像差,提升分辨能力

05

水冷恒溫物鏡,保證物鏡工作的穩定性、可靠性和可重復性

06

磁偏轉六孔可調光闌,自動切換光闌孔,無需機械調節,實現高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換

應用領域

鋰電芯片半導體陶瓷建筑材料電子元器件化學化工生物醫療環保金屬材料更多領域

產品參數

關鍵參數分辨率1.0?nm @ 15 kV
1.5 nm @ 1 kV
加速電壓20 V ~ 30 kV
放大倍率1 ~ 2,500,000 x
電子槍類型高亮度肖特基場發射電子槍
樣品室真空系統全自動控制,無油真空系統
攝像頭雙攝像頭
(光學導航+樣品倉內監控)
行程X: 115 mm,Y: 115 mm,Z: 65 mm
T: -10°~ +70°, R: 360°
探測器和擴展標配鏡筒內高角度電子探測器
側向低角度電子探測器
選配平插式中角度背散射電子探測器
STEM自動伸縮式掃描透射探測器
樣品交換倉
高速束閘和電子束曝光
EDS能譜儀
EBSD背散射衍射
EBIC電子束感生電流
CL陰極熒光
高低溫原位拉伸臺
納米機械手
大圖拼接
軟件語言中文
操作系統Windows
導航光學導航、手勢快捷導航
自動功能自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散


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