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青島佳鼎分析儀器有限公司
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SCREEN二手清洗設備WS-820L，針對8英寸晶圓的高通量批量清洗系統可實現靈活的生產線配特點：1.傳輸類型選擇WS-820L用于200毫米晶圓并進行無載體轉移處理
SCREEN二手清洗設備WS-820L，針對8英寸晶圓的高通量批量清洗系統可實現靈活的生產線配
特點：
1.傳輸類型
選擇 WS-820L 用于 200 毫米晶圓并進行無載體轉移處理。
2. 靈活的設計
系統可以根據應用自由配置。處理槽配置最多可包含 13 個槽。
3. 高吞吐量
可以安裝多個浴槽，最多可以安裝六個傳送機器人，以確保高吞吐量。
4. 高品質加工
優化的加工槽設計、嚴格的化學品管理和清潔的干燥裝置有助于穩定、高質量的加工。
5. 豐富的周邊設備陣容
提供多種外圍設備，包括晶圓傳送單元和盒式儲料器。
6. 水印的預防
可安裝低壓干燥裝置以減少水印并確保干燥清潔
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