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行業(yè)產(chǎn)品

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上海昊量光電設(shè)備有限公司


壓電旋轉(zhuǎn)平臺

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更新時間:2024-02-14 15:00:20瀏覽次數(shù):368次

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產(chǎn)品簡介

高精度緊湊型AU-XRT系列壓電旋轉(zhuǎn)臺是一款緊湊的高精度的

詳細介紹

高精度緊湊型


AU-XRT系列壓電旋轉(zhuǎn)臺是一款緊湊的高精度的。該系列旋轉(zhuǎn)臺采用軸承技術(shù),使壓電旋轉(zhuǎn)平臺的徑向、軸向和傾斜方向上的旋轉(zhuǎn)誤差小。該系列由滑塊驅(qū)動和超聲波馬達兩種驅(qū)動方式,可進行連續(xù)旋轉(zhuǎn),對角度無限制,并且集成了光學編碼器閉環(huán)控制,使壓電旋轉(zhuǎn)臺擁有的分辨率和可重復性。

上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的壓電旋轉(zhuǎn)臺按照使用馬達的不同可以分為兩類。

1)使用超聲波馬達驅(qū)動的旋轉(zhuǎn)臺,AU-XRT-U系列。

AU-XRT-U系列是由超聲波驅(qū)動的緊湊的旋轉(zhuǎn)臺。其與空氣軸承旋轉(zhuǎn)臺擁有相媲美的旋轉(zhuǎn)精度和誤差但是卻擁有更小的體積和更低廉的價格。與其它壓電技術(shù)相比超聲波壓電電機擁有更長的使用壽命、更低的功耗并且無噪聲。并且集成了光學編碼器閉環(huán)控制,精度可達到0.0002°,速度可達到1080°/s。該系列用AU-XRT-U30和AU-XRT-U40兩款旋轉(zhuǎn)臺。

Fig1 運動誤差測量

Fig2 AU-XRT-U


2)滑塊式驅(qū)動旋轉(zhuǎn)臺AU-XRT-A.

AU-XRT-A采用滑塊式壓電馬達驅(qū)動,利用軸承技術(shù),即使在旋轉(zhuǎn)過程中也可以主動將徑向誤差運動補償,AU-XRT-A的徑向誤差小于500nm,可以與空氣軸承精度相媲美,并且體積緊湊價格低廉,并且可以提供真空和磁性應用的產(chǎn)品。

Fig3. 運動誤差測量

Fig4.AU-XRT-A旋轉(zhuǎn)臺


主要特點

l  高精度(200μ°)

l  高速度(1080°/s)

l  可在真空10-6mbar和磁性(1.5T)條件使用

主要應用

l  微型CT掃描儀

l  衍射系統(tǒng)

l  電子顯微鏡

l  同步加速器

l  計量學

 

產(chǎn)品參數(shù):


AU-XRT-U30

AU-XRT-U40

AU-XRT-A

Drive   principle:

ultrasonic   piezo motor

stick-slip

Radial   error motion:

<  ="" 5="" µm="" (-sb)="" or="">< 1="" µm="">

down   to 500 nm

Axial   error motion:

<  ="" 3="" µm="" (-sb)="" or="">< 0.5="" µm="">

<  ="" 1="">

Tilt   (wobble):

<  ="" 50="" µrad="">

<  ="" 100="">

Load   capacity:

<  ="" 1="">

≤   1 N (100 g)

Aperture:

7mm

10   mm (with P sensor) or 1/2’’ (with S sensor


Driving   torque:

14   Nmm

20   Nmm


Holding   torque:

7   Nmm

10   Nmm


Speed:

from   8 m°/s up to 3 rev/s

±   2 rpm

Resolution:

6.25   m° (-S)

6.25   m° (-S) or 200 µ° (-P)

6.25   m° (-S)




關(guān)鍵詞:電子顯微鏡

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