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行業(yè)產(chǎn)品

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上海昊量光電設(shè)備有限公司


壓電旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

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更新時(shí)間：2024-02-14 15:00:20瀏覽次數(shù)：370次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高精度緊湊型AU-XRT系列壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)是一款緊湊的高精度的

詳細(xì)介紹

高精度緊湊型


AU-XRT系列壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)是一款緊湊的高精度的。該系列旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用軸承技術(shù)，使壓電旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的徑向、軸向和傾斜方向上的旋轉(zhuǎn)誤差小。該系列由滑塊驅(qū)動(dòng)和超聲波馬達(dá)兩種驅(qū)動(dòng)方式，可進(jìn)行連續(xù)旋轉(zhuǎn)，對(duì)角度無限制，并且集成了光學(xué)編碼器閉環(huán)控制，使壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)擁有的分辨率和可重復(fù)性。

上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)按照使用馬達(dá)的不同可以分為兩類。

1）使用超聲波馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)，AU-XRT-U系列。

AU-XRT-U系列是由超聲波驅(qū)動(dòng)的緊湊的旋轉(zhuǎn)臺(tái)。其與空氣軸承旋轉(zhuǎn)臺(tái)擁有相媲美的旋轉(zhuǎn)精度和誤差但是卻擁有更小的體積和更低廉的價(jià)格。與其它壓電技術(shù)相比超聲波壓電電機(jī)擁有更長(zhǎng)的使用壽命、更低的功耗并且無噪聲。并且集成了光學(xué)編碼器閉環(huán)控制，精度可達(dá)到0.0002°，速度可達(dá)到1080°/s。該系列用AU-XRT-U30和AU-XRT-U40兩款旋轉(zhuǎn)臺(tái)。

Fig1 運(yùn)動(dòng)誤差測(cè)量

Fig2 AU-XRT-U


2)滑塊式驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)AU-XRT-A.

AU-XRT-A采用滑塊式壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，利用軸承技術(shù)，即使在旋轉(zhuǎn)過程中也可以主動(dòng)將徑向誤差運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償，AU-XRT-A的徑向誤差小于500nm，可以與空氣軸承精度相媲美，并且體積緊湊價(jià)格低廉，并且可以提供真空和磁性應(yīng)用的產(chǎn)品。

Fig3. 運(yùn)動(dòng)誤差測(cè)量

Fig4.AU-XRT-A旋轉(zhuǎn)臺(tái)


主要特點(diǎn)

l  高精度（200μ°）

l  高速度（1080°/s）

l  可在真空10-6mbar和磁性（1.5T）條件使用

主要應(yīng)用

l  微型CT掃描儀

l  衍射系統(tǒng)

l  電子顯微鏡

l  同步加速器

l  計(jì)量學(xué)

 

產(chǎn)品參數(shù)：


AU-XRT-U30

AU-XRT-U40

AU-XRT-A

Drive   principle:

ultrasonic   piezo motor

stick-slip

Radial   error motion:

<  ="" 5="" µm="" (-sb)="" or="">< 1="" µm="">

down   to 500 nm

Axial   error motion:

<  ="" 3="" µm="" (-sb)="" or="">< 0.5="" µm="">

<  ="" 1="">

Tilt   (wobble):

<  ="" 50="" µrad="">

<  ="" 100="">

Load   capacity:

<  ="" 1="">

≤   1 N (100 g)

Aperture:

7mm

10   mm (with P sensor) or 1/2’’ (with S sensor


Driving   torque:

14   Nmm

20   Nmm


Holding   torque:

7   Nmm

10   Nmm


Speed:

from   8 m°/s up to 3 rev/s

±   2 rpm

Resolution:

6.25   m° (-S)

6.25   m° (-S) or 200 µ° (-P)

6.25   m° (-S)




關(guān)鍵詞：電子顯微鏡

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