高分辨率測試靶TestChart◆負片圖案設計◆基底為10x10mm2，設計緊湊，尺寸穩定性良好◆采用高精度電子束光刻技術制作◆結構尺寸低至100nm◆分辨率可達到3300lp/mm昊量光電推出的Testchart標準尺系列是由高精度的電子束光刻制作而成，這些圖案蝕刻在具有廣譜透射(DUV-VIS-NIR)的，基底為一個10×10mm2石英襯底上

詳細介紹

高分辨率測試靶 Test Chart

◆ 負片圖案設計

◆ 基底為10x10mm2，設計緊湊，尺寸穩定性良好

◆ 采用高精度電子束光刻技術制作

◆ 結構尺寸低至100nm

◆ 分辨率可達到3300 lp/mm

昊量光電推出的 Test chart 標準尺系列是由高精度的電子束光刻制作而成，這些圖案蝕刻在具有廣譜透射(DUV-VIS-NIR)的，基底為一個10×10 mm2石英襯底上。在襯底上施加了高光密度的鉻層，之后通過燒蝕鉻層，使得結構尺寸可以降低到100納米的同時保證了設計的精度，這種方式也保證了結構邊緣的良好尺寸公差和直線度。其結構為負片圖案，且每個靶上的負片圖案允許結構透明，而背景被鉻層阻擋。同時為配各類顯微鏡物鏡使用，有多種圖案可以選擇，且所有圖案都可以有一個厚度0.17毫米的覆蓋玻璃的版本可用。

標準載玻片靶 TC-RT01 —— 7.5-3300 lp/mm+4.0-0.25um Pinholes

通過高分辨率的RT01，可以非常輕松、快速地在傳輸光下確定目標的分辨率限制。水平和垂直對齊共有 59 條線型，涵蓋了精度從每毫米 7.5條線對到 3300 條線對。

同時結構的簡單排列和測試結構尺寸的直接讀取確保了直觀的處理。此外，還有5個直徑在4.0-0.25 um之間的針孔，可以實現微成像光學元件的詳細表征

西門子星狀靶 TC-RT02 —— Resolution testchart with very high precision

該標準尺由 5 顆西門子星組成，其特點是星中心的錐形部分制造的寬度低至為 150nm。該測試目標板非常適合于確定具有非常高數值光圈的顯微鏡物鏡的分辨率

載玻片檢查板TC-CB50 —— CheckBoard of 50 x 50 um2 squares

高分辨率顯微鏡檢查板的特點內部每個正方形均為 50 x 50 平方微米，整體尺寸為 9.0 x 9.0 平方毫米。該靶片非常適合于測試圖像偏斜和曲率，以及確定由于直線和銳邊導致的圖像質量。

載玻片針孔靶TC-ST01 —— Stepped rows of Pinholes from 0.18μm-4μm

該標準尺上提供了直徑0.18um到4um的針孔。相同階梯式針孔間具有足夠的暗區，使待測透鏡的整個視場變暗。該標準尺特別適用于顯微鏡透鏡的星形測試和光學顯影

高分辨率顯微鏡靶通用規格

Pattern Tolerance:	100nm/cm
光密度 OD:	OD>8 @ 400nm, 6 @ 550nm, 4.5 @ 750nm, 3.6 @ 1000nm
光譜范圍:	200 - 2000nm
基底:	Fused Silica w/Chrome deposit
尺寸 (mm):	10 x 10 x 1
構造 :	Stainless Steel, 75 x 25 x 1.5mm, microscope slide format