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上海昊量光電設備有限公司
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超緊湊機光刻技術實際上是一種精密表面加工技術，它借助于一定波長的激光光源以及選擇性的化學腐蝕和刻蝕技術把設計的微納圖案轉移到硅基板上
超緊湊機
光刻技術實際上是一種精密表面加工技術，它借助于一定波長的激光光源以及選擇性的化學腐蝕和刻蝕技術把設計的微納圖案轉移到硅基板上。但是隨著集成電路功能和密度的提升傳統的光刻技術已經難以滿足當前對線寬越來越小的需求。但是打破衍射極限的大型光刻設備又極其昂貴。為了擺脫光學衍射極限和克服高成本的限制，一種操作簡單，成本低廉的納米壓印技術產生了。納米壓印的技術核心是充分利用機械能將剛性模板上的圖案轉到抗蝕劑上，之后再借助溶脫、剝離、刻蝕等將圖案轉移到基板上。到目前為止壓印技術已經發展出來多種類型，典型的包括熱塑壓印技術、紫外固化壓印、微接觸納米壓印、激光輔助納米壓印和滾軸式納米壓印技術等。
上海昊量光電設備有限公司推出的納米壓印機AU-CUI為熱壓印和紫外固化壓印設備。
AU-CNI納米壓印機是一款桌面大小的納米壓印和熱壓成型的機器。它可以用于微米或納米結構的壓印成型。AU-CNI不但可以進行熱壓印還可以進行UV壓印。
對于熱壓印首先設備通過施加壓力使模板與基板緊密接觸，加壓范圍可達到11bar，通常依據溫度控制壓印過程。溫度可達到200℃，由于采用原位實時測量溫度，因此控溫精度可達到1℃。
UV曝光采用4個365nm的LED光源，組合光的功率可達到11.6W，LED的溫度被實時檢測，擁有過熱保護功能，即使出現過熱的現象也可以確保曝光劑量正確。
此外設備擁有簡潔的操作軟件。通過軟件可以控制壓印的溫度、壓力、曝光時間等參數。并且可以編輯并存儲在該軟件中。
AU-CUI其操作簡單，功能強大，易于實現新的實驗和非標準的加工。是納米壓印的工具。
u 壓印圖案例：
u 產品特點：
l 操作簡單
l 即插即用
l 結構緊湊
l 多種用途
u 主要應用
l 微米/納米結構的壓印
l 高縱橫比結構的壓印
l 聚合物的熱壓印
l 壓印模板制作
u 產品參數
Pressure | Imprint pressure from 0.3 - 11 bar overpressure |
Temperature | Up to 200oC with control of +/- 1oC |
UV exposure | UV led light with 365 nm wavelength and optical power of 11600 mW |
Vacuum | The imprint chamber can be evacuated down to pressure below 1 mbar |
Size of imprint chamber | Diameter of 100 mm and height of 20 mm (can be expanded up to 45 mm) |
Automated replication process | 1）Stamp and substrate are loaded manually 2）Replication process is fully automated and controlled through CNI software |
Software | Full process control and flexibility. Everything besides loading and unloading is handled by the software |
CNI customization | CNI can be modified to meet individual requirements |
On-line video instructions | On-line video installation and operation guides |
Optional | 1）Pressure booster to boost a lab compressed air supply from 3-5 bar to 6-10 bar 2）Training and/or installation by NILT personnel |
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