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DMD無掩膜光刻機

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更新時間:2024-02-12 14:21:32瀏覽次數:126次

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產品簡介

無掩膜SmartPrint無掩膜光刻機SMARTPRINTUV是一種基于DMD投影技術的設備,可兼容多種電阻和基片

詳細介紹

無掩膜SmartPrint


無掩膜光刻機SMART PRINT UV是一種基于DMD投影技術的設備,可兼容多種電阻和基片。SMART PRINT UV可以生產任何微米分辨率的二維形狀,而不需要硬掩模。基于改進后的標準投影技術,投影出具有微米分辨率的圖像,無掩膜光刻機SmartPrint無需任何進一步步驟,就能直接從數字掩模光刻出您要的圖。無掩膜光刻機SmartPrint主要應用是微流體,生物技術和微電子等領域光刻表面微納圖案。


主要特性:

兼容i、h、g線光刻膠

SmartPrint-UV配備了385 nm LED源,以兼容標準i, h和g線光刻膠,如SU8或AZ®1500系列


適用于各種各樣的基材

我們的物鏡范圍經過精心選擇,具有較長的工作距離(高達3厘米),使SP-UV成為一種非接觸式技術,因此兼容非標準基材(非平的,靈活的,厚的)。


可調直寫范圍和分辨率——用戶可獲得四種不同的直寫分辨率        直寫分辨率1.5um                                                                     

                                     


兼容任何尺寸的樣品,可至5平方英寸                                         對齊方式直觀——反饋相機與第二束590nm準直光源疊加使用

                      


體積小,性價比高


應用領域:

                 光器件                                                      微流控                                        微電子


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