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上海昊量光電設(shè)備有限公司


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DMD無掩膜光刻機(jī)

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更新時間:2024-02-12 14:21:32瀏覽次數(shù):127次

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產(chǎn)品簡介

無掩膜SmartPrint無掩膜光刻機(jī)SMARTPRINTUV是一種基于DMD投影技術(shù)的設(shè)備,可兼容多種電阻和基片

詳細(xì)介紹

無掩膜SmartPrint


無掩膜光刻機(jī)SMART PRINT UV是一種基于DMD投影技術(shù)的設(shè)備,可兼容多種電阻和基片。SMART PRINT UV可以生產(chǎn)任何微米分辨率的二維形狀,而不需要硬掩模。基于改進(jìn)后的標(biāo)準(zhǔn)投影技術(shù),投影出具有微米分辨率的圖像,無掩膜光刻機(jī)SmartPrint無需任何進(jìn)一步步驟,就能直接從數(shù)字掩模光刻出您要的圖。無掩膜光刻機(jī)SmartPrint主要應(yīng)用是微流體,生物技術(shù)和微電子等領(lǐng)域光刻表面微納圖案。


主要特性:

兼容i、h、g線光刻膠

SmartPrint-UV配備了385 nm LED源,以兼容標(biāo)準(zhǔn)i, h和g線光刻膠,如SU8或AZ®1500系列


適用于各種各樣的基材

我們的物鏡范圍經(jīng)過精心選擇,具有較長的工作距離(高達(dá)3厘米),使SP-UV成為一種非接觸式技術(shù),因此兼容非標(biāo)準(zhǔn)基材(非平的,靈活的,厚的)。


可調(diào)直寫范圍和分辨率——用戶可獲得四種不同的直寫分辨率        直寫分辨率1.5um                                                                     

                                     


兼容任何尺寸的樣品,可至5平方英寸                                         對齊方式直觀——反饋相機(jī)與第二束590nm準(zhǔn)直光源疊加使用

                      


體積小,性價比高


應(yīng)用領(lǐng)域:

                 光器件                                                      微流控                                        微電子


指標(biāo)參數(shù):



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