污水處理設備 污泥處理設備 水處理過濾器 軟化水設備/除鹽設備 純凈水設備 消毒設備|加藥設備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設備
上海昊量光電設備有限公司
上海昊量光電設備有限公司
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地
聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
更新時間：2024-02-12 14:15:57瀏覽次數(shù)：182次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線暫無信息 |
高精度自動脫模UV機納米壓印技術是上世紀90年代StephenYChou,針對傳統(tǒng)光刻受波長限制提出的類似于模板刻印的一種技術
高精度自動脫模UV機
納米壓印技術是上世紀90年代Stephen Y Chou,針對傳統(tǒng)光刻受波長限制提出的類似于模板刻印的一種技術。它的原理是：將具有納米結(jié)構(gòu)的模板通過一定壓力，壓入加熱的熔融的高分子薄膜內(nèi)，待高分子材料冷卻，納米結(jié)構(gòu)定型，移去模板，然后再通過等離子體刻蝕等傳統(tǒng)的微電子加工手段把結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到基底上。 過程如下圖所示：
由于熱壓印需要采用較高壓力，容易損壞模板，不利于模板多次使用，并且由于材料和襯底熱系數(shù)并不相同，容易造成納米結(jié)構(gòu)缺陷，于是G.G.Willson 提出了紫外固化壓印。該設備主要原理是：使用低粘度，流動性好的聚合物滴到基板上，利用液體的毛細現(xiàn)象，使光刻膠充滿模板，然后通過紫外光照射使其固化，然后脫模，刻蝕。過程如下圖所示
到目前為止壓印技術已經(jīng)發(fā)展出來多種類型，典型的包括熱塑壓印技術、紫外固化壓印、微接觸納米壓印、激光輔助納米壓印和滾軸式納米壓印技術等。
為了滿足市場日益增長對納米壓印的需求，上海昊量推出了UV納米壓印機。
該設備是基于紫外固化的納米壓印機，可提供2英寸；4英寸和6英寸不等的壓印尺寸。分辨率可做到由于10nm，并且擁有99%產(chǎn)率。
該設備的之處是已獲得zuanli的自動脫模技術。該設備可以通過軟件調(diào)節(jié)納米壓印腔體內(nèi)外的壓力，是模板從襯底上自動脫模。并且可避免分離過程中造成基底和模板的損壞。
該產(chǎn)品擁有以下優(yōu)勢：
l 分辨率優(yōu)于10μm，產(chǎn)率優(yōu)于99%
l 同時適用于軟模和剛性模板
l 自動脫模，防止模板和基板損壞
l 可壓印不同尺寸的模板和基片，方便靈活
l 可編程的PLC觸屏界面
l 對準選項
應用實例：
產(chǎn)品參數(shù)：
AUV-200 | AUV-400 | AUV-600 | |
Substrate size | 2 inch standard | 4 inch standard | 6 inch standard |
Imprint area | Same as wafer size | ||
Imprint pressure | 1 psi standard | ||
UV exposure time | 2-3 min at 95% intensity level | ||
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
環(huán)保在線 設計制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
