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上海昊量光電設備有限公司
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DLP/光刻照明光源昊量光電新推出LumiDLP光刻照明光源通過大面積提供高度均勻的通量密度為紫外DLP應用提供的速度和分辨率
DLP/光刻照明光源
昊量光電新推出LumiDLP光刻照明光源通過大面積提供高度均勻的通量密度為紫外DLP應用提供的速度和分辨率。模塊化設備結合了密集封裝的UV-LED陣列成為一種高效、非成像采集光學設備，集成了遠心成像光學優化DLP芯片組。
這款DMD光刻光源為基于DLP技術的具有挑戰性的曝光應用提供出色的UV-LED照明。特別是要求蕞高強度和多波長光譜的設置非常適合。數值孔徑為0.2（光束角度±12°）和非常高的照明均勻性、這些構成DLP-芯片曝光的解決方案。
DLP/DMD照明器提供高達30W的光輻射功率。單波長和多波長設置可供選擇（365nm、385nm、395nm、405nm）。這款DLP/DMD光刻照明光源提供的輻射功率與汞放電燈相當、但具有LED技術的壽命和總成本優勢。此外、DLP/DMD光刻照明光源還可以很好地替代基于單色激光二極管（例如、LD405nm）的照明器。
LumiDLP光刻照明光源是專為DLP9000和DLP9500芯片設計的、可以輕松集成到基于DMD的系統中。
DLP/DMD光刻照明光源產品亮點：
專為DLP®9000和DLP®9500設計
包括高性能LED驅動器、便于控制和編程
高強度性能能夠縮短/減少處理時間
由于頻譜寬廣、可以使用多種類型的抗蝕劑
不會過時的無汞光源
DLP/DMD光刻照明光源產品規格：
| 輻射輸出功率 |
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| 波長配置 |
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| 光出口角 |
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| 照明均勻性和DMD芯片溢位 |
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| 熱管理 |
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| 使用壽命 |
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| LED-驅動器 |
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| 外部接口 |
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| 程序 | 串行（USB）和遠程登錄（以太網）通信命令集 |
| 尺寸和重量 |
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| 重量 |
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