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法國阿爾卡特ALCATEL ADIXEN A300P干式真空泵

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更新時間:2023-08-17 09:59:24瀏覽次數:311次

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產品簡介

蘇州阿爾卡特ALCATELADIXENA300P干式真空泵維修保養ApplicationsA300P?HDPCVD?Stripping/Ashing?Etch(metal

詳細介紹

蘇州阿爾卡特ALCATEL ADIXEN A300P干式真空泵維修保養


Applications

A300P

? HDPCVD

? Stripping / Ashing

? Etch (metal, poly, dielectric…)

? Implant (source)



Description   PART NUMBER

Low voltage   A3W2121120000

High voltage  A3W2221120000



ALCATEL COMPACT MULTI-PROCESS DRY PUMPS A300 SERIES Technical specifications


ALCATEL COMPACT MULTI-PROCESS DRY PUMPS A300 SERIES Dimensions

ALCATEL COMPACT MULTI-PROCESS DRY PUMPS A300 SERIES Pumping speed:

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