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昆山熙日機械設備有限公司
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iH高真空干泵愛德華edwards半導體干式真空泵iH80干式泵我們的iH干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品）提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案
我們的 iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品） 提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列 具有五級主泵，使用創新的懸臂式轉子、爪式和羅茨 設計，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺單級機械增壓泵和 封閉的水冷卻電機。
iH 系列為難以執行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
優化了設施消耗。
無需預防性維護。
懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
在節省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機聯結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。
技術數據
| 峰值速度 | 103 m3h-1 |
| 61 cfm | |
| 1717 l min-1 | |
| 極限真空 | 1 x 10-2 mbar |
| 7.5 x 10-3 Torr | |
| 1 Pa | |
| 典型軸封氮流量 | 4 slm |
| 進氣口連接 | ISO63 |
| 出口連接 | NW40 |
| 15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 120 l h-1 |
| 2 l min-1 | |
| 重量 | 240 kg |
| 極限功率輸入 | 2.7 kW |
| 電機額定功率 | 3.5 kW |
| 油容量 | 0.7 l |
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