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行業(yè)產(chǎn)品

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西安賽航光電科技有限公司


勻膠機(jī)

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號WS-650-23NPPB

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時(shí)間:2023-06-02 18:28:14瀏覽次數(shù):145次

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產(chǎn)品簡介

主要性能指標(biāo):1、腔體尺寸:9.5英寸(241毫米)

詳細(xì)介紹

主要性能指標(biāo):
1腔體尺寸:9.5英寸 (241 毫米)

2Wafer芯片尺寸:10-150mm直徑的材料,方片125x125mm,小于10mm提供3mm的轉(zhuǎn)接托盤);

3、轉(zhuǎn)動速度:0-12,000rpm,

4、旋涂加速度:0-30000rpm/sec(空載);

5、馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速:穩(wěn)定性能誤差 < ±1%;

6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度:<0.2rpm,重復(fù)性< 0.2rpm;

7、工藝時(shí)間設(shè)定:1-5999.9 sec/step 0.1 精度;

8、勻膠機(jī)材質(zhì):NPP天然聚丙烯材質(zhì),抗腐蝕性和抗化學(xué)物性,美觀大方;

9、高精度數(shù)碼控制器:PLC控制,設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006%。

10、程序控制:可存儲20個(gè)程序段,每個(gè)程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);

11、分辨率:分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分,可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分,美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST)認(rèn)證過的,并且無需再校準(zhǔn)!]
12、配套真空泵系統(tǒng):無油型 220~240伏交流,50/60赫茲;

13、配套分析軟件:SPIN3000操作分析軟件;

14、水平測試儀;

一、產(chǎn)品概述:

勻膠機(jī)WS-650Mz-23NPPB適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。美國Laurell勻膠機(jī)具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動,可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是650S 型勻膠機(jī)的特點(diǎn)。

二、勻膠機(jī)工作原理:
勻膠機(jī)WS-650Mz-23NPPBspin coater)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,甩膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

關(guān)鍵詞:芯片 勻膠機(jī) 真空泵

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