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北京壯仕科技有限公司


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雙爐體滑動PECVD系統(tǒng)&循環(huán)手套箱OTF-1200X-PESDFG-50

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時間:2023-09-06 12:59:15瀏覽次數(shù):209次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:30條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

設備名稱雙爐體滑動PECVD系統(tǒng)&循環(huán)手套箱—OTF-1200X-PESDFG-50(2019

詳細介紹

設備名稱

雙爐體滑動PECVD系統(tǒng)&循環(huán)手套箱—OTF-1200X-PESDFG-50 (2019.12.18—科晶實驗室審核)

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設備尺寸設備   3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/strong>   4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點

? 真空法蘭在手套箱的左邊,與PECVD系統(tǒng)的石英管連接;

? 兩個爐體在一個滑軌上,可通過爐體的滑動達到對樣品快速加熱和快速冷卻的效果。

加熱爐參數(shù)

? 連續(xù)工作溫度:1100℃

? 兩個爐體都可設置30段升降溫程序

? 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長爐膛使用壽命)

? 電源:AC220,50Hz   功率:3KW


加熱爐圖.jpg       溫控儀表.JPG



更多參數(shù)請聯(lián)系科晶銷售部

手套箱參數(shù)

? 帶有除水系統(tǒng):保持水含量< 2="">

? 真空法蘭在手套箱的左邊,與PECVD系統(tǒng)的石英管連接


手套箱照片.jpg

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇,以滿足不同實驗條件的需求。



300W射頻電源

500W射頻電源

100W射頻電源

輸出功率

0-300W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

0-500W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

0-100W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

射頻頻率

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

匹配

自動匹配

自動匹配

手動匹配

噪音

<50dB

<50dB

<50dB

冷卻方式

風冷

風冷

風冷

輸入電壓

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

圖片

圖片2.jpg 

圖片3.jpg 

圖片4.jpg
真空系統(tǒng)

? 采用TRP-12的雙旋真空泵;

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

? 真空度可達10-2Torr。


圖片5.jpg

供氣系統(tǒng)

? 四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);

? 流量范圍:


一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm


? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;

? 氣體進出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出;

? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。


圖片6.jpg      圖片7.jpg

產(chǎn)品尺寸

? 爐體尺寸:1600mm(L) ′430mm (W) ′ 500mm(H)

? 手套箱尺寸:780mm(L)′ 700mm(W) ′ 650mm(H)

爐子尺寸.jpg    手套箱尺寸圖.jpg

認證

? CE認證

? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證

? 如您另外付費,我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證


圖片1.png

承諾

? 一年質(zhì)保期,終身維護(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件)


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