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北京壯仕科技有限公司


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小型直流磁控等離子濺射儀VTC-16-D

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更新時間:2022-10-11 12:55:19瀏覽次數:277次

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產品簡介

特點特別為SEM樣品鍍導電性薄膜設計體積小巧,操作簡單,容易上手

詳細介紹

特點

特別為SEM樣品鍍導電性薄膜設計

 

體積小巧,操作簡單,容易上手。

 

擁有小型磁控靶頭,可以鍍金銀鉑等金屬。


主要參數

輸入電源:220V AC 50/60Hz

  

功率:200W

 

輸出電壓:500 VDC

    

濺射電流:0-50 mA可調

 

濺射時間:0-120S可調

濺射腔體

采用石英腔體,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H

 

密封:采用不銹鋼平法蘭的O形密封圈

濺射頭&樣品臺

濺射頭可安裝靶材直徑為2英寸,厚度0.1 - 2.5mm

 

濺射時間1-120S可調

 

儀器中安裝有直徑為50mm的不銹鋼樣品臺,其與濺射頭之間距離可調。

 

可選購加熱型樣品臺,其加熱溫度為500℃

 

安裝有一可手動操作的濺射擋板,可進行預濺射。

 

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真空系統

安裝有KF25真空接口

 

數字真空壓力表(Pa)

 

此系統可通入氣體運行

 

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可在本公司選購各種真空泵

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進氣

設備上配1/4英寸進氣口,方便連接氣瓶

 

設備前面板上裝有一氣流調節旋鈕,方便調節氣流

靶材

靶材尺寸要求:Φ50mm×(0.1 - 2.5) mm(厚度)

 

此設備標配為銅靶

 

可在本公司選購各種靶材

薄膜測厚儀(可選)

可在本公司選購薄膜測厚儀安裝在濺射儀上

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產品外型尺寸

L460 mm × W 330 mm × H 540 mm

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凈重:20 kg(不包括泵)

質量認證

CE認證

質保

一年保修,終身技術支持。


特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。


點擊查看售后服務承諾書。

各種靶材的參數(僅供參考)

對于濺射各種金屬靶材,需要摸索的濺射參數,下表是本公司實驗所設置的參數,歡迎您帶料來科晶實驗室摸索工藝(僅供參考,詳情請點擊)

 

靶材種類

真空度(Pa)

  濺射電流(mA)

  時間 (s)

 濺射次數

   Au

   31-33

    28-30

   100

    1

   Ag

    31

      28

   100

    1

使用提示

l有時為了達到理想的薄膜厚度,可能需要多次濺射鍍膜

 

l在濺射鍍膜前,確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺的潔凈

 

l要達到薄膜與基底良好結合,請在濺射前清潔基材表面

 

l超聲波清洗(詳細參數點擊下面圖片):(1)丙酮超聲,(2)異丙醇超聲-去除油脂,(3)吹氮氣干燥,(4)真空烘箱除去水分。

 

l等離子清洗(詳細參數點擊下面圖片):可表面粗糙化,可激活表面化學鍵,可祛除額外的污染物。

 

l制造一個薄的緩沖層(5納米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以應用于改善金屬和合金的附著力。

 

l請使用>5N純度氬氣等離子體濺射

 

l濺射鍍膜機可以放入Ar或N2氣體手套箱中濺射

 

l由于能量低,該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al,Mg,Zn,Ni。請考慮我們的磁控濺射鍍膜機或熱蒸發鍍膜機。點擊下面圖片查看細節

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 超聲波清洗機

     等離子清洗機

   大功率磁控濺射儀

   蒸發鍍膜儀


警告

注意:產品內部安裝有高壓元件,禁止私自拆裝,帶電移動機體。

 

氣瓶上應安裝減壓閥(不包括),保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下,以安全使用。

 

濺射頭連接到高電壓。為了安全,操作者必須在關閉設備前裝樣和更換靶頭。

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