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滑動式雙溫區PECVD系

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更新時間：2023-02-28 09:37:38瀏覽次數：133次

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長沙沛鈺進出品貿易有限公司

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產品簡介

產品詳情型號：OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL產品概述：OTF-1200X-II-4CV-PE-SL是一款滑動式雙溫區PECVD管式爐系統

詳細介紹

產品詳情

型號：OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL

產品概述：OTF-1200X-II-4CV-PE-SL是一款滑動式雙溫區PECVD 管式爐系統。該系統包含等離子射頻電源，80mm OD1600mm L的滑動式雙溫區管式爐，4通道質量流量供氣系統和機械泵機組，可用于生長納米或石墨烯材料。

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技術參數實驗案例警示/應用提示配件詳情

設備名稱

滑動式雙溫區PECVD系統——OTF-1200X-II-4CV-PE-SL （2019.12.23—科晶實驗室審核）

產品提示

1、多種配件可選提示 2、特殊設備尺寸設備 3、科晶實驗室邀請提示 4、配件妥善保管提示

產品特點

? 射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度；

? 滑軌式可快速加熱和快速冷卻；

? 兩個加熱區，溫度梯度可達 200oC；

? 可在溫度范圍較大的條件下制備材料，如碳、ZnO納米管或納米線及單層石墨烯等。

加熱爐參數

? 溫度：1200oC（<30min），連續工作溫度：1100℃；

? 兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統；

? 輸入功率：208-240V，單相，功率：2.5KW；

? 高純氧化鋁纖維保溫層可以限度降低能耗；

? 爐體開啟式設計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。

設備主圖.jpg 圖片2.jpg

射頻電源

? 科晶公司現有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。

	300W射頻電源	500W射頻電源	100W射頻電源
輸出功率	0-300W可調（穩定性：±1%）	0-500W可調（穩定性：±1%）	0-100W可調（穩定性：±1%）
射頻頻率	13.56 MHz （穩定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩定性：±0.5%）
匹配	自動匹配	自動匹配	手動匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷卻方式	風冷	風冷	風冷
輸入電壓	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
圖片