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青島潤澤電子凈化設備有限公司


FFU層流罩

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更新時間:2023-08-24 14:01:54瀏覽次數:486次

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產品簡介

英文全稱為(Fan Filter Unit),中文專業用語為風機過濾機組。 FFU層流罩風機濾網機組可模塊化連接使用,使用FFU廣泛應用于潔凈室、潔凈工作臺、潔凈生產線、組裝式潔凈室和局部百級等應用場合。FFU層流罩設有初、高效兩級過濾網。風機從FFU部將空氣吸入并經初、高效過濾器過濾,±20%的風速勻速送出。

詳細介紹

產品介紹

FFU(層流罩)具有特點:
:靈活性。因為FFU是自帶動力的,它不受區域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里,可根據需要,分區控制。而且,隨著半導體生產工藝的變化,廠房布局必然要作相應調整,FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松,而且不會帶來二次投資。
第二:可再利用性。從理論上講,一時不用的FFU設備,可以拆下來,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:負壓通風。這是FFU的特點。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣,靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區里,使得密封變得很簡單而且安全。
第四:縮短建設周期。使用FFU省掉了風管的制作和安裝,因為風管在潔凈工程中,占掉很大的建設周期,任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益,選用FFU成為了一種可能。
第五:減少運行成本。雖然在選用FFU時,初期投資要比使用風管通風高,但它在后期運行中,突出的表現出節能、免維護等特點。用在循環減少40%的運行成本。

關鍵詞:層流罩

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