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日本HORIBASTEC-N112MGMSEN-114MGM氣體質量流量控制器

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

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更新時間:2022-10-10 13:20:57瀏覽次數:168次

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產品簡介

日本HORIBASTEC-N112MGMSEN-114MGM氣體質量流量控制器

詳細介紹

概要
基于多年來技術產品的市場發(fā)展經驗,我們提供了一系列滿足客戶需求的質量流量計產品。 
氣體被廣泛地運用于各種工業(yè)領域,從太陽能電池、燃料電池的研究和制造,這一獲得巨大關注的再生能源項目得到了各地的支持;到半導體、液晶面板和在電子行業(yè)中使用的發(fā)光二極管(LED)的研究和制造。在這些制造工藝中,對各種氣體的流量進行準確的測量和控制顯著地提高了工作效率,進而節(jié)約了能源和提高了生產力。HORIBA STEC致力于質量流量計的發(fā)展,為的制造工藝,包括半導體、光電和LED的制造提供服務,并將繼續(xù)開發(fā)新的產品來滿足客戶的需求
特征
HORIBA STEC可以提供滿足您需求的全套產品。
型號 選擇信號傳輸模式 選擇電源
SEC-N102系列 數字式信號傳輸
?RS485 F-NET協(xié)議
模擬式信號傳輸
?0~5VDC
±15VDC (±5%)
HORIBA STEC’S 可以提供PE系列的電源產品。
SEC-N104系列 DeviceNet信號傳輸 遵照ODVA標準
SEC-N106系列 PROFIBUS信號傳輸
模擬式信號傳輸
?0 至 5VDC, 0 至 10VDC 4 至 20mA
遵照PROFIBUS標準
24VDC(13 to 32VDC)

此型號適合各種小流量到大流量的需要。
流量控制范圍為標定滿量程的2~99%


高精度
■高精度(設定點為基準)MFC的線性度將由近似多項式曲線進行補償。這幫助實現了對所有流量控制范圍的高精度控制。為了實際氣體流量的準確性進一步提高,各種工藝氣體的校準數據將按照HORIBA STEC標準的氣體測量系統(tǒng)進行校驗。

整個流量控制范圍內都可實現高響應速度  
■Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response的可變PID運算法則:1秒高速響應 SEC-N100 系列搭載了開發(fā)的“可變PID系統(tǒng)",對于所有設置點它可以實現1秒內的高響應速度。當您改變標定滿量程和氣體種類時,可變PID將根據當下的設定點不斷變化,其PID參數也將隨之被優(yōu)化。 

多氣體、多量程的解決方案
■專用的軟件賦予用戶可以自由更改規(guī)格的能力 的多氣體、多量程系統(tǒng)使用戶自由變更氣體種類和量程成為可能。      
     
致力于成本考量,運用新的設計概念
作為N100系列的替代,HORIBA STEC也可以提供具備超潔凈處理以及壓電陶瓷閥門的Z500系列產品。請注意,在沒有通知的情況下,可能會對某些需要提高生產率的部件和產品工藝做出修改,但不會牽涉到改變產品的規(guī)格。 
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