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林賽斯(上海)儀器設備有限公司


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TF-LFA 薄膜激光導熱儀 ——可測80nm——20μm 薄膜熱物理性質

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更新時間:2022-12-04 16:38:58瀏覽次數:596次

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產品簡介

材料的熱物理性質以及最終產品的傳熱優化在工業應用領域變得越來越重要。

詳細介紹

材料的熱物理性質以及最終產品的傳熱優化在工業應用領域變得越來越重要。

??經過幾十年的發展,閃射法已經成為常用的用于各種固體、粉末和液體熱導率熱擴散系數的測量方法。

薄膜熱物性在工業產品中正變得越來越重要,如:相變光盤介質、熱電材料、發光二極管(LED ) ,相變存儲器、平板顯示器以及各種半導體。在這些工業領域中,特定功能沉積膜生長在基底上以實現器件的特殊功能。由于薄膜的物理性質與塊體材料不同,在許多應用中需要專門測定薄膜的參數。

??基于已實現的激光閃射技術,LINSEIS TF-LFA 薄膜導熱測試儀(Laserflash for thin films)可以測量80nm——20μm厚度薄膜的熱物理性質。


1.瞬態熱反射法(后加熱前檢測(RF)):

由于薄膜材料的物理性質與基體材料顯著不同,必需要有相應的技術來克服傳統激光閃射法的不足,即瞬態熱閃射法。

? 測量模型與傳統激光閃射法相同:檢測器和激光器在樣品兩側。考慮到紅外探測器測試薄膜太慢,因此檢測是通過熱反射方法完成的。該技術的原理是材料在加熱時,表面反射率的變化可最終用于推導出熱性能。測量反射率隨時間的變化,得到的數據代入包含的系數模型里面并快速計算出熱性能。

2. 時域熱反射法(前加熱前檢測(FF)):

時域熱反射技術是另一種測試薄層或薄膜熱性能(熱導率,熱擴散率)的方法。測量方式的幾何構造被稱為“前加熱前檢測(FF)",因為檢測器和激光在樣品上的同一側。該方法可以應用于非透明基板上不適合使用RF技術的薄膜層。


3. 瞬態熱反射法(RF)和時域熱反射法(FF)相結合:

兩種方法可以集成在一個系統中并實現兩者優點的結合。

型號

TF-LFA

溫度范圍

RT

RT 至 500℃

-100℃ 至 500℃

加熱速率

0.01 至 10 K/min

激光器

Nd:YAG Laser

脈沖電流

90 mJ/Implus(軟件控制)

脈寬

8ns

激光探頭

CW DPSS-Laser (473 nm), 50 mW

感光器

Si-PIN-Photodiode,有效直徑:0.8mm,

直流電壓…400MHz,響應時間:1ns

測量范圍

0.01 mm2/s 至1000 mm2/s

樣品直徑

圓形樣品 ∅ 10 至 20 mm

樣品厚度

80 nm 20 µm

氣氛

還原,氧化,惰性

真空度

高至 10 E-4mbar


所有的LINSEIS熱分析設備都是用計算機控制的,各個軟件模塊僅在Microsoft® Windows®操作系統上運行。完整的軟件包括3個模塊:溫度控制,數據采集和數據分析。與其他熱分析系統一樣,該32位Linseis軟件可以實現所有測量準備、實施和評估的基本功能。

特點

  • 全兼容MS® Windows™ 的32位軟件
  • 在斷電的情況下數據安全
  • 熱電偶斷線保護
  • 實時測量分析
  • 測量曲線比較
  • 存儲和分析結果輸出
  • 數據ASCII碼的導出和導入
  • 數據生成到MS Excel

評估軟件

  • 相關測試參數的自動或手工輸入:密度、比熱
  • 模型向導:選擇合適的模型
  • 接觸電阻的測定

測量軟件

  • 簡單和友好的數據輸入界面:溫度段、氣體等
  • 軟件自動顯示電能脈沖后的測量校正
  • 全自動測量
暫無

材料

陶瓷/玻璃/建材,金屬/合金,無機物。

工業領域

陶瓷,建材和玻璃工業,汽車/航空/航天,發電/能源,企業研發和學術科研,金屬/合金工業,電子工業。

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