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更新時(shí)間:2023-09-25 11:31:21瀏覽次數(shù):174次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線GF135系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器半導(dǎo)體產(chǎn)品金屬密封熱使用GF135診斷式壓力變化補(bǔ)償型(PTI)質(zhì)量流量控制器確保關(guān)鍵流量過(guò)程的準(zhǔn)確控制并使通量
GF135 系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器
半導(dǎo)體產(chǎn)品
金屬密封熱
使用 GF135 診斷式壓力變化補(bǔ)償型 (PTI) 質(zhì)量流量控制器確保關(guān)鍵流量過(guò)程的準(zhǔn)確控制并使通量?!爸悄?質(zhì)量流量控制器,該產(chǎn)品執(zhí)行累積衰減比流量測(cè)定,無(wú)需停止過(guò)程氣體輸送。半導(dǎo)體制造商可利用該產(chǎn)品實(shí)時(shí)驗(yàn)證過(guò)程氣體流量準(zhǔn)確性、檢查泄漏情況并監(jiān)視傳感器穩(wěn)定性同時(shí)無(wú)需將流量控制器從氣路上拆除。
GF135 PTI MFC 將全金屬接液流路、穩(wěn)定功能和過(guò)程氣體精度相結(jié)合,能夠改變各種淀積工藝的生產(chǎn)效率和吞吐率。
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