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主動消磁系統(tǒng)-消磁設(shè)備-消磁器SC-22

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廣州市固潤光電科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

SC-22高性能電子束儀器對變化的環(huán)境磁場非常敏感。當(dāng)周遭的磁場改變時(shí)會使電子顯微鏡的電子束產(chǎn)生偏折并造成影像解析度或測量精度下降。SC22系統(tǒng)可降低環(huán)境交流磁場并恢復(fù)分辨率和精度。SC22主動式消磁系統(tǒng)主要是由磁場控制器、一或兩個(gè)感測探頭及三軸向多芯的線圈組成，并安裝在電鏡房間內(nèi)以產(chǎn)生反向磁場并改善外部磁場問題。主動消磁系統(tǒng)-消磁設(shè)備-消磁器SC-22

詳細(xì)介紹

主動消磁系統(tǒng)-消磁設(shè)備-消磁器SC-22

型號：SC-22

品牌：Spicer Consulting

描述：SC-22高性能電子束儀器對變化的環(huán)境磁場非常敏感。當(dāng)周遭的磁場改變時(shí)會使電子顯微鏡的電子束產(chǎn)生偏折并造成影像解析度或測量精度下降。SC22系統(tǒng)可降低環(huán)境交流磁場并恢復(fù)分辨率和精度。SC22主動式消磁系統(tǒng)主要是由磁場控制器、一或兩個(gè)感測探頭及三軸向多芯的線圈組成，并安裝在電鏡房間內(nèi)以產(chǎn)生反向磁場并改善外部磁場問題。

主動消磁系統(tǒng)/消磁設(shè)備/消磁器

產(chǎn)品特點(diǎn)：

? 提供穩(wěn)定磁場環(huán)境，保護(hù)電子束技術(shù)方面的機(jī)臺不受影響

? 針對環(huán)境全時(shí)段監(jiān)控及主動消除交流電磁場

? 低消耗高性能系統(tǒng)

? 智能用戶界面自動設(shè)定系統(tǒng)

? 在50x 50/60 Hz消除2.5 Hz到5000 Hz交流電場干擾

? 包含全3軸（X，Y，Z）系統(tǒng)

? 大能消除高達(dá)60 mG（6.0μT）的pk-pk 范圍

? 針對外部磁場改變的瞬間反應(yīng)時(shí)間為100微秒以內(nèi)

? 具備USB連接埠選項(xiàng)提供監(jiān)控

產(chǎn)品安裝：

主動消磁系統(tǒng)-消磁設(shè)備-消磁器SC-22

SC22主動式消磁系統(tǒng)的線圈由一個(gè)完整回路和一段連接控制器的線路組成。完整回路創(chuàng)建一個(gè)區(qū)域的消除磁場，而另一段連接控制器的線路(此段沒有消除磁場的功能)則連接到磁場控制器。完整回路如上頁圖1所示，以1個(gè)紅色，綠色和藍(lán)色代表X、Y、Z軸。SC22線圈的X軸和Y軸完整回路長16米，Z軸回路則為20米長。若客戶端有個(gè)別需求，可以定制更長的線圈來解決。

產(chǎn)品安裝：

主動消磁系統(tǒng)/消磁設(shè)備/消磁器

上頁圖1的安裝適用于大多數(shù)SEM機(jī)臺，電子束柱通常距離房間墻壁1.5米。可以消除的大場域（動態(tài)范圍）取決于完整回路線圈的尺寸和相對于電子束柱的位置。使用5米的X軸和3米的Y軸完整回路以及距離壁1.5米的墻壁，動態(tài)范圍約為25 mG（2.5μT）pk-pk。為了嚴(yán)謹(jǐn)?shù)刂赋?/span>SC22主動式消磁器的表現(xiàn)，我們使用一個(gè)虛擬房間來顯現(xiàn)SC22安裝細(xì)節(jié)作為參考，如圖2中所示。電子束柱在3米×5米 X和Y軸完整回路（在電子束柱的上方和下方交叉）和5米×5米 Z軸完整回路的中心。第6頁的SC22規(guī)格適用于圖2的安裝方式。