1500℃單溫區3路質量流量計高真空CVD系統爐管采用高純氧化鋁制成，爐體采用一體式設計，的設計能夠保證系統在1500℃運行穩定安全，加熱元件采用高品質硅碳棒，能夠達到1500℃高溫，若客戶有需求可以定制硅鉬棒加熱元件以達到更高的1700℃高溫。
系統所配有的三路質量流量計，精度高可靠性強，可以準確混合1~3路氣體，操作面板采用數字顯示，直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯系技術人員定制任意數量的氣路。本系統還配有精密分子泵組，可以達到1.0E-3pa級別的真空度，較普通機械泵可以為用戶提供更純凈嚴苛的實驗環境。
適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。
技術參數：
| 真 空 管 式 爐 | 產品型號 | CY-T1500-60IT |
| 爐管材質 | 高純氧化鋁 |
| 爐管直徑 | 60mm(可選配50mm、80mm、100mm) |
| 爐管長度 | 1000mm |
| 爐膛長度 | 400mm |
| 加熱區長 | 300mm |
| 恒溫區長 | 150mm |
| 工作溫度 | ≤1450℃ |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 控溫模式 | 30段或50段程序控溫 |
| 顯示模式 | LCD |
| 密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭 |
| 法蘭接口 | 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 |
| 可抽真空 | 4.4E-3Pa |
| 供電電源 | AC:220V 50/60Hz |
| 供 氣 系 統 | 產品型號 | CY-3Z |
| 氣體通道 | 3通道 |
| 測量部件 | 氣體質量流量計 |
| 測量量程 | A通道：0～100SCCM H2氣 | 備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明。可根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。 |
| B通道：0～300SCCM N2氣 |
| C通道：0～500SCCM Ar氣 |
| 測量精度 | ±1.0%F.S |
| 管道耐壓 | 3MPa |
| 工作壓差 | 50～300KPa |
| 連接管道 | 304不銹鋼 |
| 控制閥門 | 304不銹鋼針閥 |
| 接口規格 | 進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 |
| 供電電源 | AC:220V 50/60Hz |
| 排 氣 系 統 | 產品型號 | CY-GZK103-A |
| 分子泵 | CY-600 |
| 前極泵 | 旋片泵 |
| 抽氣速率 | 分子泵：600L/S | 綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達：1.0E-3Pa |
| 旋片泵：1.1L/S |
| 抽氣接口 | KF40 |
| 排氣接口 | KF16 |
| 真空測量 | 復合真空計：電阻規+電離規 |
| 極限真空 | 1.0E-5Pa |
| 供電電源 | AC:220V 50/60Hz |
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