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杭州庚雨儀器有限公司
AgilentHS-20擴散泵低成本的HS系列泵提供2英寸和16英寸至35英寸等多種尺寸,具有高速、低極限壓力、高抽氣量、前級耐壓高、低返油的特點
Agilent HS-20 擴散泵低成本的 HS 系列泵提供 2 英寸和 16 英寸至 35 英寸等多種尺寸,具有高速、低極限壓力、高抽氣量、前級耐壓高、低返油的特點。該 HS 系列擴散泵標準配置過熱保護開關和可選的速冷盤管。16 英寸至 35 英寸泵附帶油位觀察窗/注油和放油組件,并提供 ASA 或 ISO 法蘭。
特性:
1.五級分餾噴嘴純化泵油并確保更好的極限真空。
2.前級耐壓高。
3.過熱保護。
4.液位觀察鏡可隨時快速指示泵油的狀況。
5.泵油注排組件
6.在入口法蘭下方提供標準規口 (NW-25)。
7.前級擋板防止泵油進入前級泵系統并造成流失。
8.可選 halo baffle 水冷帽可以在不增加高度的情況下減少回流。
性能指標:
技術指標:
抽氣速率,操作范圍 抽氣速率,AVS4.1 (1963) | 10000 L/s 空氣,12500 L/s 氦氣和 H2 17500 L/s 空氣 |
抽氣量 | 在工作范圍內為 12.5 T L/s (16.7 mbar L/s),0.01 Torr 時為 18 T L/s (23 mbar L/s) |
操作范圍 | 1.3 x 10-3 至 5 x 10-8 torr(1.7 x 10-3 至 6.5 x 10-8 mbar) |
前級耐壓 | 無負載:0.65 torr (0.85 mbar) 滿載:0.55 torr (0.72 mbar) |
推薦前級泵 | ?100 cfm (170 m3/h) |
返油率,標準冷卻帽 | 低于 1.5 x 10-3 mg/cm2/min |
預熱時間 | 45 分鐘 |
冷卻時間 | 85 分鐘 |
注油量 | 5 夸脫 (4.7 L) |
電氣要求 | 3 相,50/60 Hz,240/415/480 VAC |
泵功率 | 12000 W |
冷卻水要求 | 在 60-62.22℃ (15-26℃) 時,抽速為 1.5 gpm (300 L/h) |
連接水冷 | 1/4 英寸 FPT 三通 |
推薦泵油 | DC-704 |
抽速曲線:
抽速/冷卻帽 抽速/Halo Baffle 通導
外形圖:
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