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Agilent TwisTorr 804 FS渦輪分子泵

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產(chǎn)品型號Agilent TwisTorr 804 FS

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產(chǎn)品簡介

AgilentTwisTorr804FS高真空渦輪分子泵采用TwisTorr拖動技術(shù)和安捷倫懸浮軸承,具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性

詳細(xì)介紹

Agilent TwisTorr 804 FS 高真空渦輪分子泵采用 TwisTorr 拖動技術(shù)和安捷倫懸浮軸承,具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。TwisTorr 拖動技術(shù)對小分子氣體(如氫氣和氦氣)能提供高壓縮比,從而實(shí)現(xiàn)大抽氣量和高前級耐壓,進(jìn)而能使用更經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、更小型的前級泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計(jì),變得高效節(jié)能,并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動,并能保證穩(wěn)定的軸承工作條件,從而能延長工作壽命,減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間,并能確保長時(shí)間穩(wěn)定的抽氣性能。TwisTorr 804 FS 泵的軸承和干式潤滑劑設(shè)計(jì),使得泵無需泵油和維護(hù),能夠以任意方向安裝。可選擇一體式控制器或機(jī)架控制器。

特性:

1.創(chuàng)新的 TwisTorr 技術(shù) — 對小分子氣體的高壓縮比實(shí)現(xiàn)了高性能和小系統(tǒng)占用空間。

2.高前級耐壓 — 允許使用更小的前級泵,從而降低了系統(tǒng)成本和尺寸。

3.安捷倫懸浮軸承系統(tǒng) — 低振動、低噪音和更好的軸承工作條件可延長泵的使用壽命,從而實(shí)現(xiàn)使用維護(hù)成本優(yōu)化,減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間,并保證長時(shí)間穩(wěn)定的抽氣性能。

4.的軸承和干式潤滑劑 — 免維護(hù)、免油,實(shí)現(xiàn)任意角度安裝。

5.“三維"泵控制軟件使靈活性、速度和簡便性達(dá)到,可在泵的操作條件下達(dá)到更好通量和壓縮性能。

典型渦輪泵應(yīng)用:
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設(shè)計(jì)旨在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)到更高性能。泵的緊湊型設(shè)計(jì)滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù),并可避免錯(cuò)誤使用。無論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商,安捷倫均可針對您的應(yīng)用為您提供幫助和支持,或定制適合您的需求的系統(tǒng)。

典型渦輪泵應(yīng)用:

領(lǐng)域 詳細(xì)說明 應(yīng)用
質(zhì)譜和分析儀器
  • 針對質(zhì)譜系統(tǒng)優(yōu)化的全系列泵和控制器
  • 具有多入口泵組的定制泵
  • 低成本、易于使用、高分析性能
  • 對于 GC/MS,提供用于相對低氣體載荷環(huán)境的 1 個(gè)真空室和用于分析無機(jī)樣品的中等真空接口
  • 對于 LC/MS,需要提供多室、高通量真空系統(tǒng)
  • 對于 ICP-MS,提供多種真空系統(tǒng),包括用于氬氣等重載氣的泵和使用氦氣的碰撞池
  • 對于 TOF 系統(tǒng),需要較小尺寸、高通量和高效的散熱設(shè)備
  • 質(zhì)譜
  • GC/MS
  • LC/MS
  • ICP-MS
  • TOF
科研中的真空應(yīng)用
  • 非常清潔、可靠和高性價(jià)比的 HV 和 UHV
  • 粗真空軸承未暴露于 UHV,降低了污染
  • 高速和高壓縮
  • 可以以任意角度安裝
  • 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
  • 高能物理
  • 融合技術(shù)
  • 一般 UHV 研究
  • 同步光源粒子加速器
工業(yè)真空加工
  • 為薄膜沉積應(yīng)用而專門設(shè)計(jì)的集成分子泵解決方案
  • 適用于原始設(shè)備制造商和終端用戶的專業(yè)性能
  • 適用于具有預(yù)真空鎖或大型內(nèi)聯(lián)連續(xù)系統(tǒng)的單室批量系統(tǒng)和多室系統(tǒng)的泵

薄膜沉積:

  • 玻璃涂層設(shè)備(建筑和汽車玻璃,平板顯示器)
  • 薄膜太陽能電池生產(chǎn)(光電)
  • 光學(xué)數(shù)據(jù)介質(zhì)(CD、DVD、磁光光盤)
  • 磁性存儲介質(zhì)
  • 表面處理
  • 光學(xué)涂層(眼科、精密光電)
  • 膜或箔上的輥式/卷繞涂覆

設(shè)備加工:

  • 生產(chǎn)電視機(jī)和顯示器顯像管
  • 疏散燈(高速公路照明、投影機(jī))
  • X 射線管和電子設(shè)備

一般工藝:

  • 真空爐/冶金
納米技術(shù)儀器
  • 分析從有機(jī)化合物到半導(dǎo)體晶片等各類物質(zhì)
  • 全系列的高真空和超高真空泵特別適用于要求嚴(yán)苛的 SEM、TEM 和表面分析系統(tǒng)
  • 低振動渦旋泵適用于敏感的顯微分析
  • 可快速、無油式排空大型樣品室內(nèi)的氣體
  • 集成的泵控制器可靈活進(jìn)行控制,幾乎不生成電磁噪音
  • 非常適合為半導(dǎo)體生產(chǎn)創(chuàng)造合適環(huán)境
  • 高轉(zhuǎn)速確保能夠以高泵速抽空半導(dǎo)體生產(chǎn)中釋放的輕質(zhì)氣體(He、H)
  • 符合高速循環(huán)應(yīng)用的嚴(yán)格要求,例如真空裝載鎖
  • 通過對多個(gè)渦旋泵聯(lián)用一個(gè)前級泵,可提高工具的可靠性
  • 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
  • 安裝于支架上的控制器或一體式控制器允許將電子設(shè)備放置于遠(yuǎn)處
  • 電子顯微鏡(SEM、TEM)
  • 聚焦離子束系統(tǒng) (FIB)
  • 表面分析
  • 半導(dǎo)體制造

性能指標(biāo) :

抽速: ISO200K-F
ISO250K-F
CFF10
N2
He
H2
Ar
720 L/s
660 L/s
485 L/s
690 L/s
氣體通量 (*) 風(fēng)冷
(空氣溫度 25 °C)
水冷
(水溫 15 °C/室溫 25 °C)
N2 4.3 mbar L/s
255 SCCM
6.1 mbar L/s
367 SCCM
He 7.9 mbar L/s
467 SCCM
10.4 mbar L/s
615 SCCM
Ar 1.5 mbar L/s
89 SCCM
3.3 mbar L/s
195 SCCM
(*) 前級泵 11.6 m3/h
壓縮比與前級耐壓關(guān)系*
N2
He
H2
Ar
> 1E + 11
2E + 08
3E + 06
1E + 11
10 mbar
10 mbar
4 mbar
8.5 mbar
(*) 前級耐壓定義為,在水冷模式下,當(dāng)渦輪泵仍能產(chǎn)生 100 的壓縮比時(shí)的壓力
采用推薦前級泵時(shí)的極限真空 < 1 × 10-10 mbar
(< 1 × 10-10 Torr)
抽氣口法蘭 ISO 200K,ISO 200F,ISO 250K,
ISO 250F,CFF 10 英寸
前級管道法蘭 NW25 或 NW40
推薦的前級泵 DS302
IDP10
IDP15
工作位置 任意
操作環(huán)境溫度 +5 °C 至 +35 °C
潤滑油 性脂潤滑
冷卻要求
風(fēng)冷 空氣溫度由 +5 °C 至 35 °C
水冷 水溫由 +15 °C 至 +25 °C
水流速 100 L/h
噪音壓力級別
(全速運(yùn)行時(shí)距離 1 m 處)
43 dB(A)


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