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光動(dòng)激光干涉儀精密測(cè)量SJ6000中圖儀器（chotest）

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產(chǎn)品型號(hào)SJ6000

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更新時(shí)間：2023-04-18 15:42:45瀏覽次數(shù)：509次

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產(chǎn)品分類 品牌分類

  激光干涉儀

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深圳市中圖儀器股份有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

詳細(xì)介紹

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SJ6000光動(dòng)激光干涉儀因?yàn)椴捎酶咚俑缮嫘盘?hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，所以可以實(shí)現(xiàn)高4m/s的測(cè)量速度，以及納米級(jí)分辨率的精密測(cè)量，是集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體的國(guó)產(chǎn)激光干涉儀。

SJ6000光動(dòng)激光干涉儀線性測(cè)量
原理：邁克爾遜干涉原理
1、從SJ6000激光干涉儀主機(jī)出射的激光束（圓偏振光）通過(guò)分光鏡后，將分成兩束激光（線偏振光）；
2、兩束激光分別經(jīng)由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光（紅色線條）返回，通過(guò)分光鏡后進(jìn)行疊加，由于兩束激光頻率相同、振動(dòng)方向相同且相位差恒定，即滿足干涉條件；
3、角錐反射鏡B每移動(dòng)半個(gè)激光波長(zhǎng)的距離，將會(huì)產(chǎn)生一次完整的明暗干涉現(xiàn)象。測(cè)量距離等于干涉條紋數(shù)乘以激光半波長(zhǎng)。

線性測(cè)量的光路原理構(gòu)建圖

產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào)：SJ6000
產(chǎn)品名稱：SJ6000激光干涉儀
穩(wěn)頻方式：雙頻激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
線性測(cè)量精度：0.5ppm（0-40）℃
線性測(cè)量距離：（0-80）m（無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件）
角度測(cè)量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測(cè)量分辨力：1nm
動(dòng)態(tài)采集頻率：50KHz
預(yù)熱時(shí)間：≤6分鐘
工作溫度范圍：（0-40）℃
環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%
主要特點(diǎn)：應(yīng)用范圍廣、測(cè)量精度高、操作方便

線性測(cè)量配置
配置主要由SJ6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測(cè)量。其中，線性測(cè)量包括定位精度測(cè)量、重復(fù)定位精度測(cè)量和設(shè)備反向間隙測(cè)量等。

應(yīng)用
SJ6000光動(dòng)激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、精密機(jī)械設(shè)備、三坐標(biāo)、機(jī)器人、自動(dòng)化設(shè)備、線性位移平臺(tái)、3D打印設(shè)備、精密檢測(cè)儀器等領(lǐng)域的線性測(cè)量。