中圖儀器的SJ6000型號
激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發(fā)展而來的一種基于外差技術的高精度測量儀器，它可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等，也可以棄車間，用于特殊場合，諸如半導體光刻技術的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。
產品參數(shù) 產品型號：SJ6000
產品名稱：SJ6000激光干涉儀
穩(wěn)頻方式：雙頻激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃
線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）
角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測量分辨力：1nm
動態(tài)采集頻率：50KHz
預熱時間：≤6分鐘
工作溫度范圍：（0-40）℃
環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%
主要特點：應用范圍廣、測量精度高、操作方便
產品特點 SJ6000
激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)垂直度、平行度、角度、直線度、線性測長、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。
依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺
產品優(yōu)勢 1）精度高
SJ6000
激光干涉儀采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術，可實現(xiàn)高精度、抗力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；干涉鏡與主機分離設計，保證了干涉光路穩(wěn)定可靠；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償。
2）功能廣
- 可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；
- 可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
- 可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準；
- 可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據(jù)；
- 具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等；
- 支持手動或自動進行環(huán)境補償。
3）軟件強
- 友好的人機界面；
- 豐富的應用功能模塊；
- 向導式的操作流程；
- 簡潔化的記錄管理；
- 支持中文、英文和俄文界面；
- 支持企業(yè)專屬模板定制。
4）標準多
內置13份標準，包含GB、ISO、英標、美標、德標、日標等國內外通用標準。可依據(jù)各種不同的機床標準分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。
應用案例 測量機床回轉軸精度
測量機床直線度
數(shù)控機床精度校準
在這些測量中，除了應用激光干涉?zhèn)鞲衅鳒y定工作臺（或測桿）位移外，還需有相應的瞄準裝置。常用的有光電顯微鏡瞄準（應用于線紋尺及某些工件尺寸和坐標位置測量），白光干涉瞄準（用于量塊檢定）及接觸瞄準（用于一般精密量塊及工件尺寸和坐標位置測量）。激光干涉?zhèn)鞲衅鬟€可應用于精密定位，如精密機構加工中的控制和校正、感應同步器的刻劃、集成電路制作等的定位。
此前，國產與國外的產品有著一定的差距，SJ6000
激光干涉儀型號的推出打破了這一局面，降低了企業(yè)的檢測成本。在測量精度、測量速度、測量類型等方面，SJ6000
激光干涉儀為用戶提供了選擇。
