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中圖儀器三維光學(xué)輪廓儀測量儀SuperViewW1

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更新時間：2023-02-10 08:59:02瀏覽次數(shù)：322次

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產(chǎn)品簡介

SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀測量儀能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量

詳細(xì)介紹

SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀測量儀能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

SuperViewW三維光學(xué)輪廓儀測量儀部分參數(shù)
Z向分辨率：0.1nm
橫向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um
粗糙度RMS重復(fù)性：0.1nm
表面形貌重復(fù)性：0.1nm
臺階測量:重復(fù)性：0.1% 1σ；準(zhǔn)確度：0.75%

【功能強(qiáng)大，參數(shù)齊全】
粗糙度、平面度、孔洞分析等3D測量功能全部囊括，距離、角度、直徑測量等2D輪廓分析功能覆蓋，有依據(jù)ISO|ASME|EUR|GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)的300余種特征參數(shù)。
【高重復(fù)精度，穩(wěn)定可靠】
采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計，可實(shí)現(xiàn)高0.05%的測量精度重復(fù)性和0.002nm的粗糙度RMS重復(fù)性。
【操作便捷，簡單明了】
直觀的操作界面，讓您對操作流程一目了然，自動聚焦，助您一鍵實(shí)現(xiàn)測量過程；可視化的工作流程樹，一鍵激活的圖庫管理功能，所見即所得的分析功能，有一鍵分析功能，批量測量不用愁。
【3D測量，一覽無余】
采用白光干涉技術(shù)，結(jié)合具有優(yōu)異抗噪性能的3D重建算法，真實(shí)還原樣品的每一個細(xì)節(jié)，隨意翻轉(zhuǎn)縮放，輕松觀察、測量樣品的任意特征。
【廣泛應(yīng)用，貼心服務(wù)】
可測2D/3D輪廓、粗糙度，300余種特征參數(shù)……光學(xué)3D表面輪廓儀在半導(dǎo)體、精密加工及微納材料等領(lǐng)域可得到廣泛應(yīng)用，光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面線粗糙度、金字塔型磁頭夾角、微透鏡陣列曲率半徑等。

SuperViewW系列三維光學(xué)輪廓儀測量儀采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高。廣泛應(yīng)用于如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類精密工件表面質(zhì)量要求高的領(lǐng)域中，可以說只有3d非接觸式光學(xué)輪廓儀才能達(dá)到微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。

關(guān)鍵詞：光學(xué)輪廓儀輪廓儀