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深圳市科晶智達科技有限公司
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簡要描述：UNIPOL-1203化學機械磨拋機，適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術， 整機研磨部分采用防腐材料，耐化學腐蝕，配置自動滴料器和精密磨拋控制儀，全自動觸摸屏面板，從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。
UNIPOL-1203化學機械磨拋機，適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術， 整機研磨部分采用防腐材料，耐化學腐蝕，配置自動滴料器和精密磨拋控制儀，全自動觸摸屏面板，從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。
產品名稱 | UNIPOL-1203化學機械磨拋機 | |||||
安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設備配有上水口及下水口，需自行連接自來水及下排水 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：無 4、工作臺：尺寸800mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通風裝置：不需要 | |||||
主要特點 | 1、超平不銹鋼拋光盤（平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm）。 2、超精旋轉軸（托盤端跳小于0.01mm）。 3、設有兩個加工工位，可分別進行控制。 4、配有全自動控制觸摸屏面板，可設置主軸轉速、擺臂速度、磨拋時間。 5、配置自動滴料器，流量速率可視化調整，自動研磨和拋光。 6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀，可調節壓力，修整面型，使磨拋更加方便快捷。 7、研磨部分采用防腐材料，耐化學腐蝕。 | |||||
技術參數 | 主機部分 | GPC-100A精密磨拋控制儀 | 自動滴料器 | |||
1、電源：110V/220V 2、功率：400W 3、磨拋盤轉速：10-240rpm 4、磨拋工位：2個 5、擺臂調節檔位：1-15檔 6、托盤端跳：0.008/250mm 7、磨拋盤：Ø300mm 8、修盤環：Ø127.5mm
| 1、載樣盤直徑：Ø103mm 2、載樣盤軸向行程：12mm 3、數顯表精度：0.001mm 4、載樣盤可調加載壓力：0.1kg-2.1kg 5、壓力確認儀有效量程：1g-5000g 6、樣品裝卡方式：真空吸附 7、承載樣件尺寸： 直徑≤103mm、 厚度≤12mm 8、尺寸：外徑146mm，高266mm
| SKZD-2滾筒滴料器 1、容積：1.5L 2、流量：0-35ml/min 3、尺寸：170×290×350mm； 重量：3kg SKZD-4自動滴料器 1、加液泵：4個 2、料液瓶：600ml/瓶 3、計時范圍：1-999min 4、流量：0.1ml/min-10ml/min 5、尺寸：230×370×450mm； 重量：10kg | ||||
產品規格 | 1、整套尺寸：950mm×690mm×580mm； 2、重量：90kg | |||||
標準配件 | 1 | 不銹鋼拋光盤 | 1個 |
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2 | 載物盤 | 1個 |
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3 | 修盤環 | 1個 |
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4 | SKZD-2滴料器 | 1個 |
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5 | SKZD-4自動滴料器 | 1個 |
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6 | GPC-100A精密磨拋控制儀 | 1個 |
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7 | 拋光墊 （磨砂革、合成革、聚氨酯） | 各1片 |
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8 | 剛玉研磨微粉 | 0.5kg |
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9 | 石蠟棒 | 4根 |
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可選配件 | 1、YJXZ-12攪拌循環泵 2、精密測厚儀 3、陶瓷研磨盤 4、玻璃研磨盤 5、磁性樹脂金剛石研磨片 | |||||
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