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PCE-6V 小型等離子清洗機

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等離子清洗機

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產品簡介

簡要描述：小型等離子清洗機集成了RF等離子體發生技術、計算機控制技術、軟件編程技術，采用氣體作為清洗介質，有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵，清洗腔內的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，可短時間內清洗掉有機污染物，清洗程度可達到分子級。另外，其樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現離子蝕刻。此外，其可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。

詳細介紹

功能特點

采用氣體作為清洗介質，避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。。
可短時間內清洗掉有機污染物。
清洗程度可達到分子級。
可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。
清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性，并可消毒和殺菌。
樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現離子蝕刻。
廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、微觀流體學等領域。

技術參數
電壓	AC220V 10A
消耗功率	<500W（包括真空泵）
RF電源	輸出功率100W，輸出頻率13.56MHz
腔體	Φ190mm×98mm
細節圖
石英管	Φ180mm×55mm，壁厚7mm
內腔	Φ165mm×55mm
清洗電極	Φ120mm
樣品臺	Φ150mm，有效尺寸Φ140mm
樣品臺與電極間距	15mm-50mm可調
抽氣管	Φ12mm
極限真空度	0.1Pa
工作真空度	60Pa-500Pa
氣路數量	2路（選裝）
流量控制器數量	1、2
流量顯示儀	2通道
氣路接口	Φ6mm
加熱樣品臺	Φ140mm，加熱樣品溫度RT-600℃±1℃（選裝）
冷卻水壓力	0.2KPa-0.4KPa
工作環境	溫度5℃-35℃，濕度<80%（相對濕度）不結露，海拔高度0-2000m
尺寸	245mm×235mm×460mm（不含真空泵）
重量	20kg（不含真空泵）
可選配置	● 加熱樣品臺 ● 流量控制器（量程10、50、100，多可增加2個通道）

關鍵詞：真空泵流量控制器

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