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廣州競贏科學儀器有限公司
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JY-S100 PLUS離子濺射儀（噴金儀）JY-S100PLUS 是一款桌上型冷態磁控濺射鍍膜系統，標配旋轉傾斜樣品臺，特別適用于各種表面形貌的非導電樣品在掃描電鏡成像中的高質量鍍膜，也可滿足電極鍍膜，半導體等材料鍍膜的要求。 分類： 電鏡制樣設備, 鍍膜儀, 首頁推薦 標簽： 噴金儀, 離子濺射儀, 鍍膜儀
描述
JY-S100PLUS 是一款桌上型冷態磁控濺射鍍膜系統，標配旋轉傾斜樣品臺，特別適用于各種表面形貌的非導電樣品在掃描電鏡成像中的高質量鍍膜，也可滿足電極鍍膜，半導體等材料鍍膜的要求。
主要特性
技術參數
濺射系統 | |
| 靶材 | Pt 靶為標配，可選 Au，直徑 57mm x 0.1mm 厚 |
| 標配旋轉傾斜樣品臺 | 旋轉速度：0~60rpm 連續可調，傾斜角度：-45°~ 45°連續可調； 不銹鋼腔體：直徑 120mm X 高 75mm； 觀察窗：直徑 120mm X 高 45mm； 標配旋轉臺直徑 40mm，可放 4 個標準樣品臺，其它規格可訂做；具有雙重鎖緊裝置，可確保樣品在旋轉傾斜時不會松動脫落。 |
| 濺射電流 | 微處理器控制，安全互鎖，電流 0~40mA |
| 濺射頭 | 新型低電壓磁控管設計，靶材更換快速，環繞暗區護罩 |
| 計量表 | 真空： Atm – 1*10-3mbar，電流：0~99mA |
| 控制方法 | 帶有“開始"“暫停"按鈕的微處理控制器（1－999s），自動抽氣、濺射、關機后自動放氣。 |
真空系統 | |
| 抽氣速率 | 133L/MIN |
| 極限真空 | 10-4 mbar 級 |
| 噪音 | 56dB |
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