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MDPmap 晶圓片壽命檢測儀

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更新時間：2024-04-29 10:03:45瀏覽次數：127次

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束蘊儀器（上海）有限公司

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產品簡介

Mono-andMulti-crystallinewaferlifetimemeasurementdevice應用范圍：用于精密材料研發的單晶和多晶片的壽命測量特性靈敏度：外延片不可見的缺陷和檢測的靈敏度的可視化測量速度：6英寸硅晶圓片

詳細介紹

應用范圍：用于精密材料研發的單晶和多晶片的壽命測量

MDPmap是一個緊湊的臺式無觸點電子特性的離線生產控制或研發的工具。可測量參數如載流子壽命、光電導性、電阻率、缺陷信息在穩態或注入范圍寬短脈沖勵磁(μ-PCD)。自動化的樣品識別和參數設置可以方便地適應各種不同的樣品，包括在不同的制備階段，從生長的晶圓片到高達95%的金屬化晶圓片的外延片和晶圓片。
MDPmap的主要優點是其高度的靈活性，它允許集成最多4個激光器，用于從超低注入到高注入的依賴于注入水平的壽命測量，或者使用不同的激光波長提取深度信息。包括偏置光設施以及μ-PCD或穩態注入條件的選項。可以使用不同的圖進行客戶定義的計算，也可以導出原始數據進行進一步的評估。對于標準計量任務，可用一個預定義的標準，使常規測量只需按一個按鈕。