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束蘊儀器（上海）有限公司
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在線面掃和單點檢測應用范圍：靈活的OEM設備，用于多種不同樣品的在線壽命測量：從單晶硅到多晶硅錠，從生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制
應用范圍：靈活的OEM設備，用于多種不同樣品的在線壽命測量：從單晶硅到多晶硅錠，從生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。標準軟件接口，易于連接到許多處理或自動化系統。
MDPlinescan是一個易于集成的OEM單元，可集成到各種自動化的檢測線。關鍵的測量參數是實時的載流子壽命掃描。
樣品通常由測量頭下的傳送帶或機器人系統來輸送。應用實例從晶錠到晶圓的檢測，每個晶圓的測量速度小于一秒。
電池生產線上的來料質量檢查是的一種應用方向，同樣，鈍化和擴散后的工藝質量檢查也能用到此款產品。
還有許多其他的專門應用可能性。由于其易于集成，只需要以太網連接和電源。
產品介紹
特性
優勢
技術參數
| 樣品種類 | 多晶或單晶晶元片， 晶錠，晶胞 |
| 樣品尺寸 | 大約50 x 50 mm² |
| 電阻率 | 0.2 - 10³ Ohm cm |
| 電導類型 | p, n |
| 材質 | 硅晶圓，部分或加工晶圓，化合物半導體等 |
| 測量屬性 | 載流子的少子壽命 |
| 硬件接口 | ethernet |
| 大小 | 174 x 107 x 205 mm, 重量: 3 kg |
| 電源 | 24 V DC, 2 A |
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